WO2026006812 - DIRECT VOLTAGE CONTROL OF A CLAMPING SURFACE OF AN ELECTROSTATIC CLAMP
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/006812
Publication Date
02.01.2026
International Application No.
PCT/US2025/035811
International Filing Date
27.06.2025
Title **
[English]
DIRECT VOLTAGE CONTROL OF A CLAMPING SURFACE OF AN ELECTROSTATIC CLAMP
[French]
COMMANDE DE TENSION DIRECTE D'UNE SURFACE DE SERRAGE D'UNE PINCE ÉLECTROSTATIQUE
Applicants **
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors
FRYER, Robert
WENZEL, Kevin
Priority Data
63/664,744
27.06.2024
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
| * | |
| Number of Office Actions | * |
| * | |
International Searching Authority |
EPO
* |
| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
* |
| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
* |
| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
* |
| * | |
| * | |
| * | |
| * | |
| * | |
| Entry into National Phase under |
Chapter I
* |
| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
* |
| Translation |
|
* The data is based on automatic recognition. Please verify and amend if necessary.
** IP-Coster compiles data from publicly available sources. If this data includes your personal information, you can contact us to request its removal.
Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2258 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 12186 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2400 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2568 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 5340 |
Total:
24,752
Contact Us
Abstract[English]
A system and method for clamping a workpiece positions a workpiece on a clamping surface of an electrostatic clamp (ESC). The clamping surface is electrically grounded or electrically floated based on conditions of the workpiece and the ESC, such as a resistivity of the workpiece, where the clamping surface is electrically floated when the resistivity of the workpiece is high. A clamping voltage is applied to the ESC to clamp the workpiece to the clamping surface for semiconductor processing. The clamping surface is electrically coupled to an electrical ground for releasing the workpiece from the clamping surface. A release status of the workpiece is determined, to be in a clamped or released state. When the release status is clamped, a bias potential is applied to the clamping surface by a switch to promote de-clamping. When the release status is released, the workpiece is removed from the clamping surface.[French]
Un système et un procédé de serrage d'une pièce à travailler positionnent une pièce à travailler sur une surface de serrage d'une pince électrostatique (ESC). La surface de serrage est électriquement mise à la terre ou électriquement flottante sur la base de conditions de la pièce à travailler et de l'ESC, telles qu'une résistivité de la pièce à travailler, la surface de serrage étant électriquement flottante lorsque la résistivité de la pièce à travailler est élevée. Une tension de serrage est appliquée à l'ESC pour serrer la pièce à travailler sur la surface de serrage pour un traitement de semi-conducteur. La surface de serrage est électriquement couplée à une masse électrique pour libérer la pièce à travailler de la surface de serrage. Un état de libération de la pièce est déterminé, pour être dans un état serré ou libéré. Lorsque l'état de libération est serré, un potentiel de polarisation est appliqué à la surface de serrage par un commutateur afin de favoriser le desserrage. Lorsque l'état de libération est libéré, la pièce à travailler est retirée de la surface de serrage.