WO2025240535 - DUAL FORCE LIFT AND GROUND PINS FOR ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD FOR USE THEREOF
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/240535
Publication Date
20.11.2025
International Application No.
PCT/US2025/029224
International Filing Date
13.05.2025
Title **
[English]
DUAL FORCE LIFT AND GROUND PINS FOR ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD FOR USE THEREOF
[French]
BROCHES DE LEVAGE ET DE MISE À LA TERRE À DOUBLE FORCE POUR MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
Applicants **
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors
MENEGHINI, Paul
SZETO, Vincent
Priority Data
63/646,058
13.05.2024
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2416 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 14746 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2553 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2888 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 11740 |
Total:
34,343
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Abstract[English]
The disclosure is generally directed to an electrostatic system for processing a workpiece. An exemplary system includes an electrostatic chuck having a surface to receive a workpiece and a circuitry to engage the workpiece to the surface, the surface further comprising at least one opening; a Lift and Ground (LAG) Pin received at the opening of the surface. In certain embodiments, the LAG pin further includes a housing having an exterior and an interior chamber, the housing exterior configured to engage a chuck; a lifting appliance having a lift pin and a lift spring, the lift spring directing the lift pin to provide a bias force away from the housing; and a grounding appliance having a ground pin and a ground spring, the ground pin configured to provide a charge dissipation path form surface.[French]
La divulgation concerne de manière générale un système électrostatique pour traiter une pièce à travailler. Un système donné à titre d'exemple comprend un mandrin électrostatique ayant une surface pour recevoir une pièce à travailler et un circuit pour mettre en prise la pièce à travailler avec la surface, la surface comprenant en outre au moins une ouverture ; une broche de levage et de mise à la terre (LAG) reçue au niveau de l'ouverture de la surface. Dans certains modes de réalisation, la broche LAG comprend en outre un boîtier ayant un extérieur et une chambre intérieure, l'extérieur de boîtier étant configuré pour venir en prise avec un mandrin ; un appareil de levage ayant une broche de levage et un ressort de levage, le ressort de levage dirigeant la broche de levage pour fournir une force de sollicitation à l'opposé du boîtier ; et un appareil de mise à la terre ayant une broche de mise à la terre et un ressort de mise à la terre, la broche de mise à la terre étant configurée pour fournir une surface de forme de trajet de dissipation de charge.