WO2025226883 - HIGH ASPECT RATIO BEAM DUMP OR FARADAY CUP WITH NEUTRON RADIATION SHIELDING
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/226883
Publication Date
30.10.2025
International Application No.
PCT/US2025/026080
International Filing Date
23.04.2025
Title **
[English]
HIGH ASPECT RATIO BEAM DUMP OR FARADAY CUP WITH NEUTRON RADIATION SHIELDING
[French]
DÉCHARGE DE FAISCEAU OU CHAMBRE D'IONISATION DE FARADAY À RAPPORT DE FORME ÉLEVÉ AVEC BLINDAGE CONTRE LES RAYONNEMENTS NEUTRONIQUES
Applicants **
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors
PLATOW, Wilhelm
MAYFIELD, Patrick
RUBIN, Leonard
WHALEN, Paul
BASSOM, Neil
Priority Data
63/637,430
23.04.2024
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2397 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 14375 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2524 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2818 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 6140 |
Total:
28,254
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Abstract[English]
A neutron shielding apparatus has a shield member made of a neutron attenuation material. The shield member has a cavity defining an entrance with an entrance width for accepting an ion beam along a beam path. A target structure intercepts the ion beam within the cavity at a predetermined distance from the entrance, where the predetermined distance is greater than approximately one-half the entrance width, and where the ion beam emits neutron radiation in all directions. The neutron attenuation material attenuates the neutron radiation to a predetermined radiation exposure limit at one or more regions beyond a predetermined periphery of the target structure. The cavity can be a blind hole extending a predetermined depth from the entrance, or a passageway extending through the shield member defining the entrance and an exit. A positioning apparatus can selectively position the target structure at a target position within the cavity.[French]
Un appareil de blindage contre les neutrons comprend un élément de blindage constitué d'un matériau d'atténuation neutronique. L'élément de blindage présente une cavité définissant une entrée avec une largeur d'entrée permettant d'accepter un faisceau d'ions le long d'un chemin de faisceau. Une structure cible intercepte le faisceau d'ions à l'intérieur de la cavité à une distance prédéterminée de l'entrée, la distance prédéterminée étant supérieure à environ la moitié de la largeur d'entrée, et le faisceau d'ions émettant un rayonnement neutronique dans toutes les directions. Le matériau d'atténuation neutronique atténue le rayonnement de neutrons à une limite d'exposition à un rayonnement prédéterminée au niveau d'une ou de plusieurs régions au-delà d'une périphérie prédéterminée de la structure cible. La cavité peut être un trou borgne s'étendant à une profondeur prédéterminée depuis l'entrée, ou un passage s'étendant à travers l'élément de blindage définissant l'entrée et une sortie. Un appareil de positionnement peut positionner sélectivement la structure cible à une position cible à l'intérieur de la cavité.