WO2025136919 - SYSTEM AND METHOD FOR DYNAMIC LOADLOCK PRESSURE CONTROL
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/136919
Publication Date
26.06.2025
International Application No.
PCT/US2024/060472
International Filing Date
17.12.2024
Title **
[English]
SYSTEM AND METHOD FOR DYNAMIC LOADLOCK PRESSURE CONTROL
[French]
SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE PRESSION DE SAS DE CHARGEMENT DYNAMIQUE
Applicants **
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors
BAGGETT, John
Priority Data
63/612,390
20.12.2023
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
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| Number of Drawings | * |
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| Number of Pages with Drawings | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2227 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 11311 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2368 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2379 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4940 |
Total:
23,225
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Abstract[English]
A workpiece processing system has a process chamber for processing a workpiece within a process environment at vacuum pressure, defining a process time. A loadlock chamber defines a loadlock volume and has a vacuum isolation valve providing selective fluid communication between the loadlock volume and the process environment. The vacuum isolation valve permits the workpiece to transfer between the loadlock volume and the process environment. An atmospheric isolation valve provides fluid communication between the loadlock volume and atmosphere and selectively permits the workpiece to transfer between the loadlock volume and atmosphere. A vent gas control device selectively controls a pressure or flow rate of a vent gas to the loadlock volume, defining a vent time by a change from the vacuum pressure to atmospheric pressure. A controller controls the vent gas control device based on a critical path defined by the longer of the process time and the vent time.[French]
Un système de traitement de pièce à travailler comporte une chambre de traitement pour traiter une pièce à travailler à l'intérieur d'un environnement de traitement à une pression de vide, définissant un temps de traitement. Une chambre de sas de chargement définit un volume de sas de chargement et comporte une valve d'isolation sous vide assurant une communication fluidique sélective entre le volume de sas de chargement et l'environnement de traitement. La valve d'isolation sous vide permet à la pièce à travailler d'être transférée entre le volume de sas de chargement et l'environnement de traitement. Une valve d'isolation atmosphérique assure une communication fluidique entre le volume de sas de chargement et l'atmosphère et permet sélectivement à la pièce à travailler d'être transférée entre le volume de sas de chargement et l'atmosphère. Un dispositif de régulation de gaz d'évent régule sélectivement une pression ou un débit d'un gaz d'évent vers le volume de sas de chargement, définissant un temps d'aération par un changement de la pression de vide à la pression atmosphérique. Un dispositif de commande commande le dispositif de régulation de gaz d'évent sur la base d'un chemin critique défini par le temps le plus long entre le temps de traitement et le temps d'évent.