WO2023076575 - SHIELDED GAS INLET FOR AN ION SOURCE
National phase entry:
Publication Number
WO/2023/076575
Publication Date
04.05.2023
International Application No.
PCT/US2022/048194
International Filing Date
28.10.2022
Title **
[English]
SHIELDED GAS INLET FOR AN ION SOURCE
[French]
ENTRÉE DE GAZ PROTÉGÉE POUR SOURCE D'IONS
Applicants **
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors
COLVIN, Neil
BASSOM, Neil
ABESHAUS, Joshua
Priority Data
63/273,338
29.10.2021
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
* |
| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
|
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2511 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 15842 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2689 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 3190 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 6540 |
Total:
30,772
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Abstract[English]
An ion source has arc chamber having one or more radiation generating features, an arc chamber body enclosing an internal volume, and at least one gas inlet aperture defined therein. A gas source provides a gas such as a source species gas or a halide through the gas inlet aperture. The source species gas can be an aluminum-based ion source material such as dimethylaluminum chloride (DMAC). One or more shields positioned proximate to the gas inlet aperture provide a fluid communication between the gas inlet aperture and the internal volume, minimize a line-of-sight from the one or more radiation generating features to the gas inlet aperture, and substantially prevent thermal radiation from reaching the gas inlet aperture from the one or more radiation generating features.[French]
Une source d'ions a une chambre à arc ayant une ou plusieurs éléments de génération de rayonnement, un corps de chambre à arc renfermant un volume interne, et au moins une ouverture d'entrée de gaz définie à l'intérieur de celle-ci. Une source de gaz fournit un gaz tel qu'un gaz d'espèce source ou un halogénure à travers l'ouverture d'entrée de gaz. Le gaz d'espèce source peut être un matériau source d'ions à base d'aluminium tel que le chlorure de diméthylaluminium (DMAC). Un ou plusieurs éléments de protection positionnés à proximité de l'ouverture d'entrée de gaz permettent d'établir une communication fluidique entre l'ouverture d'entrée de gaz et le volume interne, réduisent au minimum une ligne de visée à partir du ou des éléments de génération de rayonnement vers l'ouverture d'entrée de gaz, et empêchent sensiblement un rayonnement thermique d'atteindre l'ouverture d'entrée de gaz depuis le ou les éléments de génération de rayonnement.