WO2025219867 - POSITIONING STAGE WITH SOLID BODY SPRING SUSPENSION
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/219867
Publication Date
23.10.2025
International Application No.
PCT/IB2025/053918
International Filing Date
15.04.2025
Title **
[English]
POSITIONING STAGE WITH SOLID BODY SPRING SUSPENSION
[French]
ÉTAGE DE POSITIONNEMENT COMPORTANT UNE SUSPENSION À RESSORT À CORPS SOLIDE
Applicants **
QUANO TECHNOLOGIES LIMITED
Inventors
JÄCK, Silvia
YU, Cheuk Yin
Priority Data
63/634,993
17.04.2024
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
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| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
CNIPA
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1894 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 14619 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2338 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2536 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4940 |
Total:
26,327
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Abstract[English]
The present disclosure provides a positioning stage capable of positioning objects with nanometer scale accuracy. The positioning stage includes a base and a carriage displaceable relative to the base, and a stick-slip drive acting between the base and the carriage to produce a translatory movement between the base and the carriage. The stick-slip drive comprises a piezoelectric stack and an axis. One or more solid body springs are coupled to the base and the stick-slip drive. The axis is connected to the base via the one or more solid body springs, which extend in a direction parallel to the axis. The solid body springs are thin solid body strips realized in a folded geometry and have thinned sections. The solid body springs, the axis, and the base are fabricated from one solid work piece.[French]
La présente divulgation concerne un étage de positionnement pouvant positionner des objets avec une précision d'échelle nanométrique. L'étage de positionnement comprend une première unité (base), une seconde unité (chariot) pouvant être déplacée par rapport à la première unité, et un entraînement à glissement saccadé agissant entre la base et le chariot pour produire un mouvement de translation entre les deux unités. L'entraînement à glissement saccadé comprend une pile piézoélectrique et un axe. Un ou plusieurs ressorts à corps solide sont accouplés à la base et à l'entraînement à glissement saccadé. L'axe est relié à la base par l'intermédiaire du ou des ressorts à corps solide qui s'étendent dans une direction parallèle à l'axe. Les ressorts à corps solide sont des bandes minces à corps solide réalisées dans une géométrie pliée et présentant des sections amincies. Les ressorts à corps solide, l'axe et la base sont fabriqués à partir d'une seule pièce pleine.