WO2022018641 - TIME-RESOLVED CATHODOLUMINESCENCE SAMPLE PROBING
National phase entry:
Publication Number
WO/2022/018641
Publication Date
27.01.2022
International Application No.
PCT/IB2021/056561
International Filing Date
20.07.2021
Title **
[English]
TIME-RESOLVED CATHODOLUMINESCENCE SAMPLE PROBING
[French]
ANALYSE D'ÉCHANTILLON DE CATHODOLUMINESCENCE À RÉSOLUTION TEMPORELLE
Applicants **
ATTOLIGHT AG
Inventors
MONACHON, Christian
DAVIES, Matthew John
GRONDIN, Fabrice
Priority Data
63/053,969
20.07.2020
US
17/379,815
19.07.2021
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2215 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 10680 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2336 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2352 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
22,323
The term for entry into the National Phase has expired. This quotation is for informational purposes only
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Abstract[English]
Method for investigating samples by time-series emission of cathodoluminescence (CL) microscope having electron beam and light sensor. In discovery scan, changes caused by the electron beam are unknown, in an inspection scan changes have already been identified in similar sample. Discovery scan starts by setting parameters of the electron beam to irradiate at a first rate of dose; flushing the buffer of the light sensor; scanning the electron beam over an area of interest on the sample while collecting CL emission with the light sensor, while preventing any reading of the data from the buffer until the entire scanning has been completed; once the entire scanning has been completed, blanking the electron beam and interrogating the buffer to identify a first CL image; and then interrogating the buffer to fetch all remaining CL images and tagging all fetched CL images according to time sequence starting from the first CL image.[French]
L'invention concerne un procédé d'examen d'échantillons par émission en série chronologique d'un microscope à cathodoluminescence (CL) ayant un faisceau d'électrons et un capteur de lumière. Dans un balayage de découverte, des changements provoqués par le faisceau d'électrons sont inconnus, dans un balayage d'inspection, des changements ont déjà été identifiés dans un échantillon similaire. Un balayage de découverte commence en réglant des paramètres du faisceau d'électrons à irradier à une première vitesse de dose; en rinçant le tampon du capteur de lumière; en balayant le faisceau d'électrons sur une zone digne d'intérêt sur l'échantillon tout en collectant l'émission de CL avec le capteur de lumière tout en empêchant toute lecture des données à partir du tampon jusqu'à ce que la totalité du balayage ait été achevée; une fois que le balayage complet a été achevé, en découpant le faisceau d'électrons et en interrogeant le tampon pour identifier une première image de CL; et, ensuite, en interrogeant le tampon pour extraire toutes les images de CL restantes et en marquant toutes les images de CL extraites selon une séquence temporelle commençant à partir de la première image de CL.