WO2026124920 - MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM MIT MINDESTENS EINER KONTAKTSÄULE, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES MIKROELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMS SOWIE VERWENDUNG DES MIKROELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMS
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/124920
Publication Date
18.06.2026
International Application No.
PCT/EP2025/083266
International Filing Date
17.11.2025
Title **
[German]
MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM MIT MINDESTENS EINER KONTAKTSÄULE, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES MIKROELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMS SOWIE VERWENDUNG DES MIKROELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMS
[English]
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM COMPRISING AT LEAST ONE CONTACT COLUMN, METHOD FOR PRODUCING THE MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM, AND USE OF THE MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM
[French]
SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE COMPRENANT AU MOINS UNE COLONNE DE CONTACT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DU SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE ET UTILISATION DU SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
MELNIKOV, Anton
SORGER, Alexander
SOMMER, Maximilian
SCHINDELE, Jens
Priority Data
102024211816.8
11.12.2024
DE
Application details
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Change of Applicant's Name and Address
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1940 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8107 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2061 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1879 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,727
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Abstract[German]
Die vorliegende Erfindung betrifft ein mikroelektromechanisches System (MEMS) (100) umfassend ein MEMS-Bauteil (110) mit einer Oberfläche (120) und mindestens einer auf der Oberfläche (120) vorliegenden Kontaktsäule (1) mit einer Oberseite (2), wobei die Oberseite (2) ein leitendes Material (4) umfasst und ausgelegt und eingerichtet ist, das MEMS-Bauteil (110) mit einer Speise- und/oder Signalspannung (130) zu versorgen. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines solchen MEMS (100) mit mindestens einer Kontaktsäule (1) sowie die Verwendung des erfindungsgemäßen MEMS (100) in Systemen zur Interaktion mit Fluiden.[English]
The present invention relates to a microelectromechanical system (MEMS) (100) comprising a MEMS component (110) having a surface (120) and at least one contact column (1) which is provided on the surface (120) and has an upper face (2), the upper face (2) comprising a conductive material (4) and being designed and configured to supply the MEMS component (110) with a supply and/or signal voltage (130). The invention also relates to a method for producing a MEMS (100) of this kind having at least one contact column (1), and to the use of the MEMS (100) according to the invention in systems for interacting with fluids.[French]
La présente invention concerne un système micro-électromécanique (MEMS) (100) comprenant un composant MEMS (110) possédant une surface (120) et au moins une colonne de contact (1) disposée sur la surface (120) et présentant une face supérieure (2), la face supérieure (2) comprenant un matériau conducteur (4) et étant conçue et configurée pour alimenter le composant MEMS (110) avec une tension d'alimentation et/ou de signal (130). Cette invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un tel MEMS (100) comprenant au moins une colonne de contact (1) ainsi que l'utilisation du MEMS (100) selon l'invention dans des systèmes d'interaction avec des fluides.