WO2026104213 - MIKROSENSOR MIT VERSTEIFUNGSMITTEL AN EINER MEMBRAN
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/104213
Publication Date
21.05.2026
International Application No.
PCT/EP2025/081623
International Filing Date
03.11.2025
Title **
[German]
MIKROSENSOR MIT VERSTEIFUNGSMITTEL AN EINER MEMBRAN
[English]
MICROSENSOR COMPRISING STIFFENING MEANS ON A MEMBRANE
[French]
MICROCAPTEUR COMPRENANT DES MOYENS DE RIGIDIFICATION SUR UNE MEMBRANE
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
DANNENBERG, Arne
LUKACS, Ferenc
Priority Data
102024210978.9
14.11.2024
DE
Application details
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1875 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8115 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2026 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1719 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,475
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft einen Mikrosensor (10) zur Messung einer Messgröße, aufweisend einen Randbereich (14), wenigstens eine Membran (16) mit einer an den Randbereich (14) anschließenden, freitragenden und durch eine erste Hauptachse (18) und eine zweite Hauptachse (20) aufgespannten und entlang der ersten Hauptachse (18) eine Gesamtlänge (26) aufweisenden Membranfläche (22), die in einer Normalrichtung (24) der Membranfläche (22) abhängig von der Messgröße auslenkbar ist und mit der Membranfläche (22) verbundene Versteifungsmittel (34), die zumindest in einem ersten Abschnitt (36) zwischen einem ersten Randabschnitt (38) des Randbereichs (14) bis zu einer Mitte (40) der Gesamtlänge (26) entlang der ersten Hauptachse (18) verlaufend angeordnet sind und die in Richtung der zweiten Hauptachse (20) eine Breite (52) aufweisen, wobei die Breite (52) der Versteifungsmittel (34) zumindest in eine erste Richtung (54) entlang der ersten Hauptachse (18) ausgehend von dem ersten Randabschnitt (38) zu der Mitte (40) genau einmal ansteigt und dann wieder genau einmal absinkt.[English]
The invention relates to a microsensor (10) for measuring a measurement variable, having an edge region (14), at least one membrane (16) having a membrane surface (22) which adjoins the edge region (14), is self-supporting, is spanned by a first main axis (18) and a second main axis (20), and has a total length (26) along the first main axis (18), and which can be deflected in a normal direction (24) of the membrane surface (22) depending on the measurement variable, and stiffening means (34) connected to the membrane surface (22) which are arranged, running along the first main axis (18), at least in a first section (36) between a first edge section (38) of the edge region (14) as far as a centre (40) of the total length (26), and which have a width (52) in the direction of the second main axis (20), wherein the width (52) of the stiffening means (34) increases precisely once at least in a first direction (54) along the first main axis (18), starting from the first edge section (38) to the centre (40), and then decreases again precisely once.[French]
L'invention concerne un microcapteur (10) destiné à mesurer une grandeur de mesure, comportant une zone de bord (14), au moins une membrane (16) présentant une surface de membrane (22) qui est adjacente à la zone de bord (14), est autoportante, est traversée par un premier axe principal (18) et un second axe principal (20), et présente une longueur totale (26) le long du premier axe principal (18), et qui peut être déviée dans une direction normale (24) de la surface de membrane (22) en fonction de la grandeur de mesure, et des moyens de rigidification (34) reliés à la surface de membrane (22), qui sont disposés, en s'étendant le long du premier axe principal (18), au moins dans une première section (36) entre une première section de bord (38) de la zone de bord (14) jusqu'à un centre (40) de la longueur totale (26), et qui présentent une largeur (52) dans la direction du second axe principal (20), la largeur (52) des moyens de rigidification (34) augmentant exactement une fois au moins dans une première direction (54) le long du premier axe principal (18), en partant de la première section de bord (38) jusqu'au centre (40), puis diminuant à nouveau exactement une fois.