IP-Coster | WO2026104187 | MIKROSENSOR MIT ANKERELEMENTEN

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	1880
EPO	Filing, Examination, Granting	8113
Japan	Filing, Examination, Granting	1998
South Korea	Filing, Examination, Granting	1757
USA	Filing, Examination, Granting	4740

Abstract[German] Die Erfindung betrifft einen Mikrosensor (10) zur Messung einer Messgröße, aufweisend einen Randbereich (14), der einen Freibereich (16) umgibt und durch mehrere einzelne Ankerelemente (18) gebildet ist, die senkrecht zu einer Normalrichtung (22) lateral zueinander versetzt sind und sich jeweils mit einer Breite (20) und einer gegenüber der Breite (20) größeren Länge (60) durch eine in Normalrichtung (22) aufgebaute Schichtstruktur (24) erstrecken, wenigstens eine Membran (26), die an die Ankerelemente (18) mit einer gleichmäßigen Membrandicke (28) freitragend angebunden ist und in der Normalrichtung (22) abhängig von der Messgröße ausgehend von einem durch die Anbindung (30) und entlang der Anbindung (30) an die Ankerelemente (18) gebildeten Membranrand (32) in den Freibereich (16) auslenkbar ist, wobei die einzelnen Ankerelemente (18) in Normalrichtung (22) vollständig entlang wenigstens einer an die Membran (26) in Normalrichtung (22) angrenzenden ersten Schicht (36) der Schichtstruktur (24) jeweils eine gleichmäßige Breite (20) und gleichmäßige Länge (60) aufweisen, wobei die Ankerelemente (18) mit deren jeweiliger Länge (60) parallel zu dem an die Ankerelemente (18) angrenzenden Membranrand (32) ausgerichtet sind und/oder zumindest an einem Randabschnitt des Membranrands (32) eine einen nichtlinearen Membranrand (32) ausbildende Randkontur (68) bilden.[English] The invention relates to a microsensor (10) for measuring a measurement variable, having: an edge region (14) which surrounds a free region (16) and is formed by multiple individual anchor elements (18) which are laterally offset with respect to one another perpendicularly to a normal direction (22) and each extend with a width (20) and a length (60) greater than the width (20) through a layer structure (24) formed in the normal direction (22); and also having at least one membrane (26) which is self-supportingly connected to the anchor elements (18) with a uniform membrane thickness (28) and, depending on the measurement variable, can be deflected into the free region (16) in the normal direction (22), starting from a membrane edge (32) formed by the connection (30) and extending along the connection (30) to the anchor elements (18), wherein, in the normal direction (22), the individual anchor elements (18) each have a uniform width (20) and a uniform length (60) along all of at least one first layer (36) of the layer structure (24) adjacent to the membrane (26) in the normal direction (22), and wherein, along their respective lengths (60), the anchor elements (18) are oriented parallel to the membrane edge (32) adjacent to the anchor elements (18) and/or at least at an edge section of the membrane edge (32) form an edge contour (68) forming a non-linear membrane edge (32).[French] L'invention concerne un microcapteur (10) destiné à mesurer une grandeur de mesure, comprenant : une région périphérique (14) qui entoure une région libre (16) et est formée par une pluralité d'éléments d'ancrage individuels (18) qui sont décalés latéralement les uns par rapport aux autres perpendiculairement à une direction normale (22) et s'étendent chacun avec une largeur (20) et une longueur (60) supérieures à la largeur (20) à travers une structure de couches (24) formée dans la direction normale (22) ; et comprenant en outre au moins une membrane (26) qui est reliée de manière autoportante aux éléments d'ancrage (18) avec une épaisseur de membrane uniforme (28) et peut, en fonction de la grandeur de mesure, être déviée dans la région libre (16) dans la direction normale (22), à partir d'un bord de membrane (32) formé par la liaison (30) et s'étendant le long de la liaison (30) jusqu'aux éléments d'ancrage (18). Dans la direction normale (22), les éléments d'ancrage individuels (18) présentent chacun une largeur uniforme (20) et une longueur uniforme (60) sur l'ensemble d'au moins une première couche (36) de la structure de couches (24) adjacente à la membrane (26) dans la direction normale (22), et sur leurs longueurs respectives (60), les éléments d'ancrage (18) sont orientés parallèlement au bord de membrane (32) adjacent aux éléments d'ancrage (18) et/ou forment, au moins au niveau d'une section de bord du bord de membrane (32), un contour de bord (68) formant un bord de membrane non linéaire (32).

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Micro Entity	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
Entry into National Phase under	Chapter I *
Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
Translation

WO2026104187 - MIKROSENSOR MIT ANKERELEMENTEN

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