IP-Coster | WO2026109197 | MEMS-SENSOR ZUR MESSUNG EINER UMGEBUNGSGRÖßE EINER SENSORUMGEBUNG

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	2327
EPO	Filing, Examination, Granting	11641
Japan	Filing, Examination, Granting	2340
South Korea	Filing, Examination, Granting	2449
USA	Filing, Examination, Granting	4940

Abstract[German] Die Erfindung betrifft einen MEMS-Sensor zur Messung einer Umgebungsgröße einer Sensorumgebung, umfassend: ein Substrat, ein mehrere elektrisch leitende und/oder elektrisch nichtleitende Schichten aufweisendes Schichtsystem, wobei das Schichtsystem zumindest in einen Verankerungsbereich, einen Sensierbereich, eine den Sensierbereich umlaufende Rahmenstruktur und in zumindest eine zwischen dem Verankerungsbereich und der Rahmenstruktur beweglich ausgebildete Federstruktur unterteilt ist, wobei der Verankerungsbereich zumindest teilweise auf dem Substrat angeordnet ist, wobei die Rahmenstruktur über die zumindest eine Federstruktur mit dem Verankerungsbereich elastisch verbunden ist, wobei eine oder mehrere elektrisch leitende und/oder elektrisch nichtleitende Schichten des Sensierbereichs mit der Rahmenstruktur verbunden sind, der Sensierbereich umfassend: eine abhängig von der Umgebungsgröße in eine Vertikalrichtung auslenkbare erste Membran, eine in der Vertikalrichtung beabstandet von der ersten Membran angeordnete, mit der ersten Membran mechanisch verbundene und abhängig von der Umgebungsgröße in die Vertikalrichtung auslenkbare zweite Membran, sodass eine Auslenkung der ersten Membran mit einer Auslenkung der zweiten Membran gekoppelt ist, eine Mittenelektrodenstruktur, welche zwischen der ersten und der zweiten Membran beabstandet zu diesen angeordnet ist.[English] The invention relates to a MEMS sensor for measuring a surroundings variable of the sensor surroundings, comprising: a substrate and a layer system which has a plurality of electrically conductive and/or non-electrically conductive layers, the layer system being subdivided at least into an anchoring region, a sensing region, a frame structure surrounding the sensing region, and at least one spring structure designed to be movable between the anchoring region and the frame structure, wherein the anchoring region is at least partly situated on the substrate, the frame structure is elastically connected to the anchoring region via the at least one spring structure, and one or more electrically conductive and/or non-electrically conductive layers of the sensing region are connected to the frame structure, the sensing region comprising: a first membrane which can be deflected in a vertical direction on the basis of the surroundings variable, a second membrane which is situated at a distance from the first membrane in the vertical direction, is mechanically connected to the first membrane, and is deflected in the vertical direction on the basis of the surroundings variable such that a deflection of the first membrane is coupled to a deflection of the second membrane, and a central electrode structure which is situated between the first and the second membrane at a distance therefrom.[French] L'invention concerne un capteur MEMS permettant de mesurer une variable d'environnement de l'environnement du capteur, comprenant : un substrat et un système de couches comportant une pluralité de couches électriquement conductrices et/ou non électriquement conductrices, le système de couches étant subdivisé au moins en une région d'ancrage, une région de détection, une structure de châssis entourant la région de détection, et au moins une structure à ressort conçue pour pouvoir se déplacer entre la région d'ancrage et la structure de châssis, la région d'ancrage étant au moins partiellement située sur le substrat, la structure de châssis étant reliée élastiquement à la région d'ancrage par l'intermédiaire de l'au mois une structure à ressort, et une ou plusieurs couches électriquement conductrices et/ou non électriquement conductrices de la région de détection étant reliées à la structure de châssis, la région de détection comprenant : une première membrane qui peut être déformée dans le sens vertical en fonction de la variable d'environnement, une seconde membrane qui est située à une certaine distance de la première membrane dans le sens vertical, est reliée mécaniquement à la première membrane et est déformée dans le sens vertical en fonction de la variable d'environnement, de sorte qu'une déformation de la première membrane est couplée à une déformation de la seconde membrane, et une structure d'électrode centrale qui est située entre la première et la seconde membrane, à une certaine distance de celles-ci.

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Type of Assignment	The Standard Agent's Assignment *
Applicant's Legal Status	Legal Entity *
Small Entity	*
Non-Commercial Organization	*
Micro Entity	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
Entry into National Phase under	Chapter I *
Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
Translation

WO2026109197 - MEMS-SENSOR ZUR MESSUNG EINER UMGEBUNGSGRÖßE EINER SENSORUMGEBUNG

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