WO2025214847 - KAPAZITIVER DRUCKSENSOR MIT EINER SYMMETRISCHEN BRÜCKENSCHALTUNG
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/214847
Publication Date
16.10.2025
International Application No.
PCT/EP2025/058996
International Filing Date
02.04.2025
Title **
[German]
KAPAZITIVER DRUCKSENSOR MIT EINER SYMMETRISCHEN BRÜCKENSCHALTUNG
[English]
CAPACITIVE PRESSURE SENSOR WITH A SYMMETRICAL BRIDGE CIRCUIT
[French]
CAPTEUR DE PRESSION CAPACITIF À CIRCUIT EN PONT SYMÉTRIQUE
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
DANNENBERG, Arne
BRUECKNER, Timon
MAIER, Bernhard
FEHLING, Paul
RAVASIO, Roberto
DOGEI, Tamas
SCHOENHALS, Alexander
Priority Data
102024203244.1
10.04.2024
DE
Application details
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EPO
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1880 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8113 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 1998 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1757 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,488
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Drucksensor (10) zur kapazitiven Messung eines Umgebungsdrucks in einer Sensorumgebung (22), aufweisend eine Sensoreinheit (12) mit einer elektrischen Brückenschaltung (18), an der ein elektrisches erstes Eingangspotenzial (D1) und ein elektrisches zweites Eingangspotenzial (D2) anliegt und wenigstens ein elektrisches Ausgangspotenzial (S) abgreifbar ist und die wenigstens eine von dem Umgebungsdruck abhängig veränderliche erste Messkapazität (M1) zwischen einer ersten Elektrode (24) und einer ersten Gegenelektrode (26), wenigstens eine in Bezug auf den Umgebungsdruck unveränderliche erste Referenzkapazität (R1) zwischen einer ersten Referenzelektrode (28) und einer ersten Referenzgegenelektrode (30), einen das erste Eingangspotenzial (D1) aufweisenden ersten Eingangsanschluss (34), einen das zweite Eingangspotenzial (D2) aufweisenden zweiten Eingangsanschluss (36) und einen das Ausgangspotenzial (S) aufweisenden Ausgangsanschluss (38) aufweist, wobei die Brückenschaltung (18) zumindest in Bezug auf eine Oberfläche der Sensoreinheit (12) um eine durch den Ausgangsanschluss (38) verlaufende Symmetrieachse (46) symmetrisch aufgebaut ist.[English]
The invention relates to a capacitive pressure sensor (10) for capacitively measuring an ambient pressure in a sensor environment (22), comprising a sensor unit (12) with an electrical bridge circuit (18) to which an electrical first input potential (D1) and an electrical second input potential (D2) are applied and from which at least one electrical output potential (S) can be tapped off and which has at least one first measurement capacitance (M1), which can be changed depending on the ambient pressure, between a first electrode (24) and a first counter electrode (26), at least one first reference capacitance (R1), which cannot be changed with respect to the ambient pressure, between a first reference electrode (28) and a first reference counter electrode (30), a first input connection (34) which is at the first input potential (D1), a second input connection (36) which is at the second input potential (D2) and an output connection (38) which is at the output potential (S), the bridge circuit (18) being of symmetrical design at least with respect to a surface of the sensor unit (12) about an axis of symmetry (46) running through the output connection (38).[French]
L'invention concerne un capteur de pression capacitif (10) destiné à mesurer de manière capacitive une pression ambiante dans un environnement de capteur (22), comprenant une unité de capteur (12) avec un circuit en pont (18) électrique auquel sont appliqués un premier potentiel d'entrée électrique (D1) et un second potentiel d'entrée électrique (D2) et dont au moins un potentiel de sortie électrique (S) peut être prélevé et qui présente au moins une première capacité de mesure (M1), qui peut être modifiée en fonction de la pression ambiante, entre une première électrode (24) et une première contre-électrode (26), au moins une capacité de référence (R1), qui ne peut pas être modifiée par rapport à la pression ambiante, entre une première électrode de référence (28) et une première contre-électrode de référence (30), une première connexion d'entrée (34) qui est au niveau du premier potentiel d'entrée (D1), une seconde connexion d'entrée (36) qui est au niveau du second potentiel d'entrée (D2) et une connexion de sortie (38) qui est au niveau du potentiel de sortie (S), le circuit en pont (18) étant de conception symétrique au moins par rapport à une surface de l'unité de capteur (12) autour d'un axe de symétrie (46) s'étendant à travers la connexion de sortie (38).