WO2025131877 - MIKROELEKTROMECHANISCHER SENSOR MIT KIPPELEMENT UND ELEKTRODE IN HOHLRAUM
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/131877
Publication Date
26.06.2025
International Application No.
PCT/EP2024/085473
International Filing Date
10.12.2024
Title **
[German]
MIKROELEKTROMECHANISCHER SENSOR MIT KIPPELEMENT UND ELEKTRODE IN HOHLRAUM
[English]
MICRO-ELECTROMECHANICAL SENSOR WITH TILTING ELEMENT AND ELECTRODE IN A CAVITY
[French]
CAPTEUR MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE À ÉLÉMENT D'INCLINAISON ET ÉLECTRODE DANS UNE CAVITÉ
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
SCHELLING, Christoph
FRIEDRICH, Thomas
REINMUTH, Jochen
SENZ, Volkmar
BUCK, Thomas
Priority Data
102023212983.3
19.12.2023
DE
Application details
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The Standard Agent's Assignment
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Legal Entity
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Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1895 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8113 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 1998 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1757 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,503
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft einen mikroelektromechanischen Sensor (10) zur Messung einer Umgebungsgröße einer Sensorumgebung (12), aufweisend wenigstens ein abhängig von der Umgebungsgröße entlang wenigstens einer Vertikalrichtung (14) auslenkbares Auslenkungselement (16) mit einem einen gegenüber der Sensorumgebung (12) abgegrenzten Hohlraum (22) zumindest abschnittsweise überspannenden Freibereich (24), wenigstens ein mit dem Auslenkungselement (16) über zumindest ein Koppelelement (32) aufweisende Koppelmittel (28) gekoppeltes und abhängig von der Auslenkung des Auslenkungselements (16) um wenigstens eine Kippachse (30) kippbares Kippelement (26), eine Gegenelektrode (40, 45, 46, 98), wenigstens eine mit dem Kippelement (26) gekoppelte, in dem Hohlraum (22) angeordnete und abhängig von der Kippbewegung des Kippelements (26) gegenüber der Gegenelektrode (40, 45, 46, 98) bewegbare und dabei einen Elektrodenabstand zu der Gegenelektrode (40, 45, 46, 98) verändernde Elektrode (52, 62, 66, 96), wobei das Kippelement (26) zumindest abschnittsweise eine höhere Biegesteifigkeit als das Koppelelement (32) aufweist.[English]
The invention relates to a micro-electromechanical sensor (10) for measuring a surroundings variable of the sensor surroundings (12), having at least one deflecting element (16) which can be deflected at least along a vertical direction (14) on the basis of the surroundings variable and which comprises a free region (24) that extends at least partly across a cavity (22) delimited from the sensor surroundings (12), at least one tilting element (26) which is coupled to the deflecting element (16) via coupling means (28) that have at least one coupling element (32) and which can be tilted about at least one tilt axis (30) on the basis of the deflection of the deflecting element (16), a counter electrode (40, 45, 46, 98), and at least one electrode (52, 62, 66, 96) which is coupled to the tilting element (26) and is positioned in the cavity (22) and which can move relative to the counter electrode (40, 45, 46, 98) on the basis of the tilting movement of the tilting element (26) and in the process adjusts the spacing between the electrode and the counter electrode (40, 45, 46, 98), wherein the tilting element (26) has a higher degree of flexural rigidity than the coupling element (32) at least in some parts.[French]
L'invention concerne un capteur micro-électromécanique (10) destiné à mesurer une variable d'environnement de l'environnement de capteur (12), possédant au moins un élément de déviation (16) qui peut être dévié au moins le long d'une direction verticale (14) sur la base de la variable d'environnement et qui comprend une région libre (24) qui s'étend au moins partiellement à travers une cavité (22) délimitée à partir de l'environnement de capteur (12), au moins un élément d'inclinaison (26) qui est couplé à l'élément de déviation (16) par l'intermédiaire d'un moyen de couplage (28) qui possède au moins un élément de couplage (32) et qui peut être incliné autour d'au moins un axe d'inclinaison (30) sur la base de la déviation de l'élément de déviation (16), une contre-électrode (40, 45, 46, 98), et au moins une électrode (52, 62, 66, 96) qui est couplée à l'élément d'inclinaison (26) et est positionnée dans la cavité (22) et qui peut se déplacer par rapport à la contre-électrode (40, 45, 46, 98) sur la base du déplacement d'inclinaison de l'élément d'inclinaison (26) et dans le processus ajuste l'espacement entre l'électrode et la contre-électrode (40, 45, 46, 98), l'élément d'inclinaison (26) présentant un degré de rigidité à la flexion plus élevé que l'élément de couplage (32) au moins dans certaines parties.