WO2025021513 - MAGNETISCHE SENSORVORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MAGNETISCHE SENSORVORRICHTUNG
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/021513
Publication Date
30.01.2025
International Application No.
PCT/EP2024/069485
International Filing Date
10.07.2024
Title **
[German]
MAGNETISCHE SENSORVORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MAGNETISCHE SENSORVORRICHTUNG
[English]
MAGNETIC SENSOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A MAGNETIC SENSOR DEVICE
[French]
DISPOSITIF DE CAPTEUR MAGNÉTIQUE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN DISPOSITIF DE CAPTEUR MAGNÉTIQUE
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
SLOGSNAT, David
KERBER, Nico
SELZER, Severin
KOEPERNIK, Corinna
Priority Data
102023207201.7
27.07.2023
DE
Application details
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EPO
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2118 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8406 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2154 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2066 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
19,484
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft eine magnetische Sensorvorrichtung umfassend ein Substrat (10) und zumindest eine Sensorstruktur (A) mit mindestens einem Sensierelement (16a), welches jeweils in einem direkt auf oder benachbart über einer Substratoberfläche (12) liegenden ersten Sensierbereich (14a) angeordnet ist, und mittels welchem jeweils eine in dem ersten Sensierbereich (14a) vorliegende Magnetfeldkomponente entlang einer jeweils zugeordneten und parallel zu der Substratoberfläche (12) ausgerichteten Sensierachse (18a) detektierbar ist, und einer ersten Schicht (20a), welche mindestens ein weichmagnetisches Material umfasst, und welche zwischen dem Substrat (10) und dem direkt auf oder benachbart über der Substratoberfläche (12) liegenden ersten Sensierbereich (14a) oder auf einer von dem Substrat (10) weg gerichteten Seite des ersten Sensierbereichs (14a) liegt, wobei eine zu dem ersten Sensierbereich (14a) ausgerichtete erste Außenoberfläche (22a) der ersten Schicht (20a) zumindest eine Teilfläche (24a) aufweist, welche jeweils in einem lokalen Neigungswinkel größer-gleich 2° und kleiner-gleich 70° zu der Substratoberfläche (12) ausgerichtet ist.[English]
The invention relates to a magnetic sensor device comprising a substrate (10) and at least one sensor structure (A) having at least one sensing element (16a), which is arranged in each case in a first sensing region (14a) located directly on or adjacently above a substrate surface (12), and by means of which a magnetic field component present in the first sensing region (14a) is detectable along an assigned sensing axis (18a) aligned parallel to the substrate surface (12), and a first layer (20a), which comprises at least one soft-magnetic material and which lies between the substrate (10) and the first sensing region (14a) located directly on or adjacently above the substrate surface (12) or on a side of the first sensing region (14a) directed away from the substrate (10), wherein a first outer surface (22a) of the first layer (20a) aligned with the first sensing region (14a) has at least one partial surface (24a) which is aligned in each case at a local angle of inclination greater than or equal to 2° and less than or equal to 70° with respect to the substrate surface (12).[French]
L'invention concerne un dispositif de capteur magnétique comprenant un substrat (10) et au moins une structure de capteur (A) comprenant au moins un élément de détection (16a), qui est disposé dans chaque cas dans une première région de détection (14a) située directement sur ou en position adjacente au-dessus d'une surface de substrat (12), et au moyen duquel un composant de champ magnétique présent dans la première région de détection (14a) est détectable le long d'un axe de détection attribué (18a) aligné parallèlement à la surface de substrat (12), et une première couche (20a), qui comprend au moins un matériau magnétique doux et qui se trouve entre le substrat (10) et la première région de détection (14a) située directement sur ou en position adjacente au-dessus de la surface de substrat (12) ou sur un côté de la première région de détection (14a) dirigé à l'opposé du substrat (10), une première surface externe (22a) de la première couche (20a) alignée avec la première région de détection (14a) ayant au moins une surface partielle (24a) qui est alignée dans chaque cas à un angle d'inclinaison local supérieur ou égal à 2° et inférieur ou égal à 70° par rapport à la surface de substrat (12).