WO2024235604 - VORRICHTUNG ZUM KÜHLEN EINES SPUTTERTARGETS
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2024/235604
Publication Date
21.11.2024
International Application No.
PCT/EP2024/061351
International Filing Date
25.04.2024
Title **
[German]
VORRICHTUNG ZUM KÜHLEN EINES SPUTTERTARGETS
[English]
DEVICE FOR COOLING A SPUTTERING TARGET
[French]
DISPOSITIF DE REFROIDISSEMENT D'UNE CIBLE DE PULVÉRISATION
Applicants **
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Hansastraße 27c
80686 München, DE
Inventors
DR. BARTZSCH, Hagen
Winterbergstraße 28
01277 Dresden, DE
WEISKE, Dieter
Prohliser Allee 25
01239 Dresden, DE
DR. TEMMLER, Dietmar
Putbuser Weg 14
01109 Dresden, DE
NEUHAUS, Stefan
Winterbergstraße 28
01277 Dresden, DE
DR. FRACH, Peter
Winterbergstraße 28
01277 Dresden, DE
DR. HINZ, Alexander Martin
Winterbergstraße 28
01277 Dresden, DE
DR. HEICKE, Steffen
Sporbitzer Ring 9
01259 Dresden, DE
Priority Data
102023112894.9
16.05.2023
DE
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing | 993 | |
| EPO | Filing, Examination | 4645 | |
| Japan | Filing | 532 | |
| South Korea | Filing | 575 | |
| USA | Filing, Examination | 2635 |
Total: 9380 USD
Abstract[German]
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Kühlen eines Sputtertargets (101), umfassend einen Kühlkörper (102), welcher eine Kontaktfläche (103) aufweist, mittels welcher ein mechanischer Kontakt mit dem Sputtertarget (101) ausgebildet ist, wobei der Kühlkörper (102) von mindestens einem Kühlkanal (104) durchzogen ist, so dass der Kühlkörper (102) mindestens einen Kühlkanaleingang (105) und mindestens einen Kühlkanalausgang (106) aufweist und wobei der Kühlkanal (104) von einem Fluid durchströmt ist, wobei a) der Kühlkanalausgang (106) mittels einer ersten Rohrleitung (107) mit dem Eingang eines Kompressors (109) verbunden ist; b) der Ausgang des Kompressors (109) mittels einer zweiten Rohrleitung (110) mit dem Eingang einer Druckstufe (113) verbunden ist; c) sich ein erster Teilbereich der zweiten Rohrleitung (110) durch einen ersten Wärmetauscher (13) erstreckt; d) der Ausgang der Druckstufe (113) mittels einer dritten Rohrleitung (114) mit dem Kühlkanaleingang (105) verbunden ist; e) das Fluid als Kältemittel ausgebildet ist; wobei das Kältemittel bei einem Druck von 1 bar eine Siedetemperatur kleiner 0 °C und bei einem Druck von 0,7 bar eine Siedetemperatur kleiner -10 °C aufweist; und f) die Druckstufe (113) derart konfiguriert ist, dass diese vom Druckstufeneingang (112) zum Druckstufenausgang (115) im zeitlichen Mittel eine Druckreduzierung von mindestens 2 bar bewirkt.[English]
The invention relates to a device for cooling a sputtering target (101), comprising a cooling element (102) with a contact surface (103) with which mechanical contact is made with the sputtering target (101), wherein the cooling element (102) is penetrated by at least one cooling channel (104), so that the cooling element (102) has at least one cooling channel inlet (105) and at least one cooling channel outlet (106), and wherein a fluid flows through the cooling channel (104), wherein a) the cooling channel outlet (106) is connected to the inlet of a compressor (109) by means of a first pipeline (107); b) the outlet of the compressor (109) is connected to the inlet of a pressure stage (113) by means of a second pipeline (110); c) a first sub-region of the second pipeline (110) extends through a first heat exchanger (13); d) the outlet of the pressure stage (113) is connected to the cooling channel inlet (105) by means of a third pipeline (114); e) the fluid is a coolant, wherein the coolant has a boiling temperature of lower than 0°C at a pressure of 1 bar and a boiling temperature of lower than -10°C at a pressure of 0.7 bar; and f) the pressure stage (113) is configured in such a way that it brings about a pressure reduction of at least 2 bar on average over time from the pressure stage inlet (112) to the pressure stage outlet (115).[French]
L'invention concerne un dispositif de refroidissement d'une cible de pulvérisation (101), comprenant un élément de refroidissement (102) avec une surface de contact (103) avec laquelle un contact mécanique est réalisé avec la cible de pulvérisation (101), l'élément de refroidissement (102) étant pénétré par au moins un canal de refroidissement (104), de telle sorte que l'élément de refroidissement (102) présente au moins une entrée de canal de refroidissement (105) et au moins une sortie de canal de refroidissement (106), et un fluide s'écoulant à travers le canal de refroidissement (104), a) la sortie de canal de refroidissement (106) étant reliée à l'entrée d'un compresseur (109) au moyen d'une première conduite (107) ; b) la sortie du compresseur (109) étant reliée à l'entrée d'un étage de pression (113) au moyen d'une seconde conduite (110) ; c) une première sous-région de la deuxième conduite (110) s'étendant à travers un premier échangeur de chaleur (13) ; d) la sortie de l'étage de pression (113) étant reliée à l'entrée de canal de refroidissement (105) au moyen d'une troisième conduite (114) ; e) le fluide étant un fluide de refroidissement, le fluide de refroidissement ayant une température d'ébullition inférieure à 0 °C à une pression de 1 bar et une température d'ébullition inférieure à -10 °C à une pression de 0,7 bar ; et f) l'étage de pression (113) étant configuré de telle sorte qu'il provoque une réduction de pression d'au moins 2 bar en moyenne dans le temps de l'entrée d'étage de pression (112) à la sortie d'étage de pression (115).