WO2024208562 - MEMS-VOLUMENWELLEN-RESONATOR, EIN VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN MEMS-VOLUMENWELLEN-RESONATORS SOWIE SYSTEM MIT SOLCH EINEM MEMS-VOLUMENWELLEN-RESONATOR
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2024/208562
Publication Date
10.10.2024
International Application No.
PCT/EP2024/056866
International Filing Date
14.03.2024
Title **
[German]
MEMS-VOLUMENWELLEN-RESONATOR, EIN VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN MEMS-VOLUMENWELLEN-RESONATORS SOWIE SYSTEM MIT SOLCH EINEM MEMS-VOLUMENWELLEN-RESONATOR
[English]
MEMS BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR, METHOD FOR PRODUCING SUCH A MEMS BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR, AND SYSTEM COMPRISING SUCH A MEMS BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR
[French]
RÉSONATEUR À ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME MEMS, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN TEL RÉSONATEUR À ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME MEMS, ET SYSTÈME COMPRENANT UN TEL RÉSONATEUR À ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME MEMS
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Postfach 30 02 20
70442 Stuttgart, DE
Inventors
FEYH, Ando
Uhlandstrasse 7
72135 Dettenhausen, DE
Priority Data
102023203135.3
05.04.2023
DE
Application details
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International Searching Authority |
EPO
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Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing | 1069 | |
| EPO | Filing, Examination | 4616 | |
| Japan | Filing | 538 | |
| South Korea | Filing | 575 | |
| USA | Filing, Examination | 2635 |
Total: 9433 USD
The term for entry into the National Phase has expired. This quotation is for informational purposes only
Abstract[German]
Die Erfindung betrifft einen MEMS-Volumenwellen-Resonator (10,11), wobei der MEMS-Volumenwellen-Resonator (10,11) ein Substrat (20), einen Interdigitalwandler (30) mit einer Elektrodeneinheit (31) und eine piezoelektrische Schicht (40) aufweist, wobei die Elektrodeneinheit (31) eine erste Elektrode (34) und eine zweite Elektrode (36) aufweist und zwischen dem Substrat (20) und der piezoelektrischen Schicht (30) angeordnet ist, und wobei der MEMS-Volumenwellen-Resonator (10, 11) dazu eingerichtet ist, in Reaktion auf ein an den Interdigitalwandler (30) angelegtes Hochfrequenzsignal mittels der Elektrodeneinheit (31) eine akustische Welle in der piezoelektrischen Schicht (40) anzuregen. Zudem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines insbesondere erfindungsgemäßen MEMS-Volumenwellen-Resonators (10, 11) sowie ein System (100) mit wenigstens einem erfindungsgemäßen MEMS-Volumenwellen-Resonator (10, 11).[English]
The invention relates to a MEMS bulk acoustic wave resonator (10, 11). The MEMS bulk acoustic wave resonator (10, 11) has a substrate (20), an interdigital transducer (30) with an electrode unit (31), and a piezoelectric layer (40). The electrode unit (31) has a first electrode (34) and a second electrode (36) and is arranged between the substrate (20) and the piezoelectric layer (30), and the MEMS bulk acoustic wave resonator (10, 11) is designed to excite an acoustic wave in the piezoelectric layer (40) by means of the electrode unit (31) in response to a high-frequency signal applied to the interdigital transducer (30). The invention additionally relates to a method for producing a MEMS bulk acoustic wave resonator (10, 11), in particular a MEMS bulk acoustic wave resonator according to the invention, and to a system (100) comprising at least one MEMS bulk acoustic wave resonator (10, 11) according to the invention.[French]
L'invention concerne un résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10, 11). Le résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10, 11) a un substrat (20), un transducteur interdigité (30) avec une unité d'électrode (31), et une couche piézoélectrique (40). L'unité d'électrode (31) a une première électrode (34) et une deuxième électrode (36) et est disposée entre le substrat (20) et la couche piézoélectrique (30), et le résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10, 11) est conçu pour exciter une onde acoustique dans la couche piézoélectrique (40) au moyen de l'unité d'électrode (31) en réponse à un signal haute fréquence appliqué au transducteur interdigité (30). L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10, 11), en particulier un résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS selon l'invention, ainsi qu'un système (100) comprenant au moins un résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10, 11) selon l'invention.