WO2024208551 - MEMS-VOLUMENWELLEN-RESONATOR SOWIE EIN SYSTEM MIT SOLCH EINEM MEMSVOLUMENWELLEN- RESONATOR
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2024/208551
Publication Date
10.10.2024
International Application No.
PCT/EP2024/056667
International Filing Date
13.03.2024
Title **
[German]
MEMS-VOLUMENWELLEN-RESONATOR SOWIE EIN SYSTEM MIT SOLCH EINEM MEMSVOLUMENWELLEN- RESONATOR
[English]
MEMS BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR, AND SYSTEM COMPRISING SUCH A MEMS BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR
[French]
RÉSONATEUR À ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME MEMS, ET SYSTÈME COMPRENANT UN TEL RÉSONATEUR À ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME MEMS
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Postfach 30 02 20
70442 Stuttgart, DE
Inventors
PALM, Dominic
Mozartstrasse 8
66894 Bechhofen, DE
Priority Data
102023203138.8
05.04.2023
DE
Application details
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International Searching Authority |
EPO
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing | 965 | |
| EPO | Filing, Examination | 4646 | |
| Japan | Filing | 531 | |
| South Korea | Filing | 575 | |
| USA | Filing, Examination | 2635 |
Total: 9352 USD
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft einen MEMS-Volumenwellen-Resonator (10), wobei der MEMS-Volumenwellen-Resonator (10) übereinander angeordnet einen ersten Bragg-Reflektor (31), einen zweiten Bragg-Reflektor (32), eine Elektrodeneinheit (40) mit einer ersten Elektrode (41) und einer zweiten Elektrode (42), und ein piezoelektrisches Element (50) aufweist, wobei die Elektrodeneinheit (40) und das piezoelektrische Element (50) zwischen dem ersten Bragg-Reflektor (31) und dem zweiten Bragg-Reflektor (32) angeordnet sind, und wobei das piezoelektrische Element (50) unmittelbar zwischen der ersten Elektrode (41) und der zweiten Elektrode (42) angeordnet ist, und wobei der MEMS- Volumenwellen-Resonator (10) dazu eingerichtet ist, in Reaktion auf ein an die Elektrodeneinheit (40) angelegtes Hochfrequenzsignal eine akustische Welle in dem piezoelektrischen Element (50) anzuregen. Zudem betrifft die Erfindung ein System mit solch einem MEMS-Volumenwellen-Resonator (10).[English]
The invention relates to a MEMS bulk acoustic wave resonator (10). The MEMS bulk acoustic wave resonator (10) has a first Bragg reflector (31), a second Bragg reflector (32), an electrode unit (40) with a first electrode (41) and a second electrode (42), and a piezoelectric element (50) arranged one over the other, wherein the electrode unit (40) and the piezoelectric element (50) are arranged between the first Bragg reflector (31) and the second Bragg reflector (32), and the piezoelectric element (50) is arranged directly between the first electrode (41) and the second electrode (42). The MEMS bulk acoustic wave resonator (10) is designed to excite an acoustic wave in the piezoelectric element (50) in response to a high-frequency signal applied to the electrode unit (40). The invention additionally relates to a system comprising such a MEMS bulk acoustic wave resonator (10).[French]
L'invention concerne un résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10). Le résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10) a un premier réflecteur de Bragg (31), un deuxième réflecteur de Bragg (32), une unité d'électrode (40) avec une première électrode (41) et une deuxième électrode (42), et un élément piézoélectrique (50) disposés l'un sur l'autre, l'unité d'électrode (40) et l'élément piézoélectrique (50) étant agencés entre le premier réflecteur de Bragg (31) et le deuxième réflecteur de Bragg (32), et l'élément piézoélectrique (50) étant disposé directement entre la première électrode (41) et la deuxième électrode (42). Le résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10) est conçu pour exciter une onde acoustique dans l'élément piézoélectrique (50) en réponse à un signal haute fréquence appliqué à l'unité d'électrode (40). L'invention concerne en outre un système comprenant un tel résonateur à ondes acoustiques de volume MEMS (10).