WO2024217775 - STRESSENTKOPPELTER MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
National phase entry:
Publication Number
WO/2024/217775
Publication Date
24.10.2024
International Application No.
PCT/EP2024/056357
International Filing Date
11.03.2024
Title **
[German]
STRESSENTKOPPELTER MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
[English]
STRESS-DECOUPLED MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
[French]
CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE À DÉCOUPLAGE DE CONTRAINTE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Postfach 30 02 20
70442 Stuttgart, DE
Inventors
WEBER, Heribert
Im Hoefle 28
72622 Nuertingen, DE
MACH, Sophielouise
Lutherstrasse 28
72770 Reutlingen, DE
SCHMOLLNGRUBER, Peter
Laussnitzer Weg 8
71134 Aidlingen, DE
ROHLFING, Franziska
Weinbergstrasse 7
71229 Leonberg, DE
Priority Data
102023203438.7
17.04.2023
DE
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Applicant's Legal Status |
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing | 1239 | |
| EPO | Filing, Examination | 5244 | |
| Japan | Filing | 597 | |
| South Korea | Filing | 575 | |
| USA | Filing, Examination | 2710 |
Total: 10365 USD
The term for entry into the National Phase has expired. This quotation is for informational purposes only
Abstract[German]
Es wird ein mikromechanischer Drucksensor (100) umfassend: - ein Substrat (110) mit einem darauf angeordnetem Schichtsystem (120) beschrieben. Der mikromechanische Drucksensor (100) umfasst ferner eine mittels wenigstens einer Aufhängungsstruktur (140) an dem Schichtsystem (120) freitragend befestigte Sensorstruktur (200) mit einer ersten Membranstruktur (210), einer zweiten Membranstruktur (220) und einer zwischen den beiden Membranstrukturen (210, 220) angeordneten und von einem in einem Randbereich (212, 222) der beiden Membranstrukturen (210, 220) verlaufenden Seitenwand (230) abgeschlossen Kavernenbereich (240). Dabei umfasst die Sensorstruktur (200) einen in dem Kavernenbereich (240) zwischen den beiden Membranstrukturen (210, 220) angeordneten Nutzkondensator (250) mit einer an der ersten Membranstruktur (210) befestigten ersten Elektrode (251) und einer der ersten Elektrode (251) gegenüberliegend angeordneten und an der zweiten Membranstruktur (220) befestigten zweiten Elektrode (253).[English]
The invention relates to a micromechanical pressure sensor (100), comprising: - a substrate (110) with a layer system (120) located thereon. The micromechanical pressure sensor (100) further comprises a sensor structure (200) which is self-supportingly fastened to the layer system (120) by means of at least one suspension structure (140) and which has a first membrane structure (210), a second membrane structure (220) and a cavity region (240) that is located between the two membrane structures (210, 220) and closed by a side wall (230) extending in an edge region (212, 222) of the two membrane structures (210, 220). The sensor structure (200) also has a useful capacitor (250) located in the cavity region (240) between the two membrane structures (210, 220), having a first electrode (251) fastened to the first membrane structure (210) and a second electrode (253) located opposite the first electrode (251) and fastened to the second membrane structure (220).[French]
L'invention concerne un capteur de pression micromécanique (100) comprenant : - un substrat (110) sur lequel est situé un système de couches (120). Le capteur de pression micromécanique (100) comprend en outre une structure de capteur (200) qui est fixée de manière autoportante au système de couches (120) au moyen d'au moins une structure de suspension (140) et qui présente une première structure de membrane (210), une seconde structure de membrane (220) et une région de cavité (240) qui est située entre les deux structures de membrane (210, 220) et fermée par une paroi latérale (230) s'étendant dans une région de bord (212, 222) des deux structures de membrane (210, 220). La structure de capteur (200) comporte également un condensateur utile (250) situé dans la région de cavité (240) entre les deux structures de membrane (210, 220), comportant une première électrode (251) fixée à la première structure de membrane (210) et une seconde électrode (253) située à l'opposé de la première électrode (251) et fixée à la seconde structure de membrane (220).