WO2024199897 - HALBLEITER-FERTIGUNGSPROZESS MIT SIMULIERTEM PROZESSFENSTERMODELL
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2024/199897
Publication Date
03.10.2024
International Application No.
PCT/EP2024/055580
International Filing Date
04.03.2024
Title **
[German]
HALBLEITER-FERTIGUNGSPROZESS MIT SIMULIERTEM PROZESSFENSTERMODELL
[English]
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS WITH SIMULATED PROCESS WINDOW MODEL
[French]
PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR AVEC MODÈLE DE FENÊTRE DE TRAITEMENT SIMULÉ
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Postfach 30 02 20
70442 Stuttgart, DE
Inventors
EBERSBACH, Peter
Heinrich-Zille-Str. 5
01445 Radebeul, DE
Priority Data
102023203018.7
31.03.2023
DE
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
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| Number of Drawings | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing | 933 | |
| EPO | Filing, Examination | 4624 | |
| Japan | Filing | 531 | |
| South Korea | Filing | 575 | |
| USA | Filing, Examination | 3235 |
Total: 9898 USD
The term for entry into the National Phase has expired. This quotation is for informational purposes only
Abstract[German]
Es wird ein Verfahren (20) zum Ermitteln eines Prozessfensters für einen R2R-Controller (13) zur Herstellung eines oder einer Mehrzahl von Bauteilen in der Produktion, umfassend folgende Schritte: Definieren von ersten Wertebereiche für die Produktionsmaschinenkonfigurationen von nachfolgenden Produktionsprozessen. Vorhersagen abhängig von den ersten Wertebereichen mit angelernten datenbasierten Modellen, insbesondere Regressionsmodellen, einen Einfluss auf ein finales Messergebnis des Bauteils. Auswählen desjenigen nachfolgenden Prozessschrittes, welcher gemäß der Vorhersage einen der größten Einflüsse auf das finale Messergebnis hat. Ermitteln eines modifizierten Prozessfenster für den ausgewählten Prozessschritt, sodass das finale Messergebnis ein einem vorgegeben Intervall liegt.[English]
The invention relates to a method (20) for determining a process window for an R2R controller (13) for producing one or a plurality of components in a production process, comprising the following steps: Defining first value ranges for the production machine configurations of downstream production processes. Predicting an influence on a final measurement result of the component on the basis of the first value ranges using trained data-based models, in particular regression models. Selecting the downstream process step which, according to the prediction, has one of the greatest influences on the final measurement result. Determining a modified process window for the selected process step such that the final measurement result lies in a specified interval.[French]
L'invention concerne un procédé (20) pour déterminer une fenêtre de traitement pour un dispositif de commande R2R (13) pour produire un ou plusieurs composants dans un processus de production, comprenant les étapes suivantes : La définition de premières plages de valeurs pour les configurations de machine de production de processus de production en aval. La prédiction d'une influence sur un résultat de mesure final du composant sur la base des premières plages de valeurs à l'aide de modèles basés sur des données entraînés, en particulier des modèles de régression. La sélection de l'étape de traitement en aval qui, en fonction de la prédiction, a l'une des plus grandes influences sur le résultat de mesure final. La détermination d'une fenêtre de traitement modifiée pour l'étape de traitement sélectionnée de telle sorte que le résultat de mesure final se situe dans un intervalle spécifié.