WO2024175259 - VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MAGNETSENSORS
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2024/175259
Publication Date
29.08.2024
International Application No.
PCT/EP2024/050431
International Filing Date
10.01.2024
Title **
[German]
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MAGNETSENSORS
[English]
METHOD FOR PRODUCING A MAGNETIC SENSOR
[French]
PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CAPTEUR MAGNÉTIQUE
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
WEBER, Heribert
REINMUTH, Jochen
KOEPERNIK, Corinna
Priority Data
102023201618.4
22.02.2023
DE
Application details
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EPO
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Change of Applicant's Name and Address
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1964 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8529 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2010 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1667 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,910
The term for entry into the National Phase has expired. This quotation is for informational purposes only
Abstract[German]
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Magnetsensors, wobei in der Oberfläche einer Vorderseite eines Substrats zumindest eine Vertiefung erzeugt oder gebildet wird, wobei auf dem Boden der zumindest einen Vertiefung ein magnetisches Material im Rahmen eines Galvanikprozesses aufgewachsen wird, sodass sich als Endresultat des Galvanikprozesses zumindest ein ein Magnetfeld zumindest teilweise beeinflussendes Element, ein Magnetflussleitelement, bildet, wobei zumindest ein mit dem Substrat verbundenes Magnetsensierelement derart gebildet wird, dass dieses bezogen auf die Vorderseite des Substrats höher als das zumindest eine aus galvanisch aufgewachsenem, magnetischem Material bestehenden Magnetflussleitelement angeordnet ist. Die Erfindung betrifft einen Magnetsensor.[English]
The invention relates to a method for producing a magnetic sensor, in which method: at least one recess is produced or formed in the surface of a front face of a substrate; a magnetic material is grown on the bottom of the at least one recess in an electroplating process, so that, as the final result of the electroplating process, at least one element that influences a magnetic field at least in part, namely a magnetic-flux-conducting element, is formed; and at least one magnet-sensing element connected to the substrate is formed so as to be located, in relation to the front face of the substrate, higher than the at least one magnetic-flux-conducting element consisting of a magnetic material grown via electroplating. The invention also relates to a magnetic sensor.[French]
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur magnétique comprenant : la production ou la formation d'au moins un évidement dans la surface d'une face avant d'un substrat ; la croissance d'un matériau magnétique sur le fond de ladite au moins une cavité dans le cadre d'un processus de galvanoplastie, de sorte que le résultat final du processus de galvanoplastie est la formation d'au moins un élément qui influence au moins en partie un champ magnétique, à savoir un élément conducteur de flux magnétique ; et la formation d'au moins un élément détecteur d'aimant relié au substrat de manière à ce qu'il soit situé, par rapport à la face avant du substrat, plus haut que ledit au moins un élément conducteur de flux magnétique constitué d'un matériau magnétique obtenu par électrodéposition. L'invention concerne en outre un capteur magnétique.