IP-Coster | WO2023161503 | HIGH POWER GENERATOR AND METHOD OF SUPPLYING HIGH POWER PULSES

Country	Stages	Total
China	Filing	1186
EPO	Filing, Examination	5001
Japan	Filing	594
South Korea	Filing	575
USA	Filing, Examination	2710

Abstract[English] High-power- (HP-) generator (10) and method to deliver pulsed high power with a high value of voltage and/or high current value to a capacitive load, in particular to a plasma process, comprising: - several low-power- (LP-) generators (14, 16,18), - each LP-generator (14, 16, 18) comprising an energy storage component (C1, L1), wherein in use the energy storage component (C1, L1) is charged to a predefined value related to the energy storage component, - each LP-generator (14, 16, 18) supplying, in use, at its output an LP-generator-value which corresponds to the value of the energy storage component (C1, C2, Cn L1, L2, Ln) incorporated in the respective LP-generator (14, 16, 18), - a coupling (20) in which the LP-generators (14, 16, 18) are electrically connected such that a coupling-value at the output of the coupling (20), which corresponds to the output value of the HP-generator (10), may be obtained, and which is, in use, at least in some states of the HP-generator (10) higher than the LP-generator-value at the output of one of the LP-generators (14, 16, 18), - a control unit (22) configured to select the contribution of LP-generators (14, 16, 18) to the output value of the HP-generator (10) during power delivery of the HP-generator (10), in order to generate a rise and/or decay of a pulse at the output of the coupling (20), wherein the charging energy of the LP-generators (14, 16, 18) is supplied over a transformer (T1, T2,..Tn), with a primary winding (P1, P2,.. Pn), and a secondary winding (SW1, SW2,.. SWn) for each LP-generator (14, 16, 18).[French] La présente invention concerne un générateur haute puissance (HP) (10) et un procédé pour délivrer une puissance élevée pulsée avec une valeur élevée de tension et/ou valeur élevée de courant à une charge capacitive, en particulier à un processus plasmatique, comprenant : - plusieurs générateurs basse puissance (LP) (14, 16, 18), - chaque générateur LP (14, 16, 18) comprenant un composant de stockage d'énergie (C1, L1), le composant de stockage d'énergie (C1, L1), lors de l'utilisation, étant chargé à une valeur prédéfinie associée au composant de stockage d'énergie, - chaque générateur LP (14, 16, 18) fournissant, lors de l'utilisation, à sa sortie une valeur de générateur LP qui correspond à la valeur du composant de stockage d'énergie (C1, C2, Cn, L1, L2, Ln) incorporé dans le générateur LP respectif (14, 16, 18), - un couplage (20) dans lequel les générateurs LP (14, 16, 18) sont connectés électriquement de sorte qu'une valeur de couplage à la sortie du couplage (20), qui correspond à la valeur de sortie du générateur HP (10), puisse être obtenue et qui est, lors de l'utilisation, au moins dans certains états du générateur HP (10) supérieure à la valeur du générateur LP à la sortie de l'un des générateurs LP (14, 16, 18), - une unité de commande (22) configurée pour sélectionner la contribution de générateurs LP (14, 16, 18) à la valeur de sortie du générateur HP (10) pendant l'émission de puissance du générateur HP (10), afin de générer une élévation et/ou une diminution d'une impulsion à la sortie du couplage (20), l'énergie de charge des générateurs LP (14, 16, 18) étant fournie par l'intermédiaire d'un transformateur (T1, T2,..Tn), avec un enroulement primaire (P1, P2,.. Pn), et un enroulement secondaire (SW1, SW2,.. SWn) pour chaque générateur LP (14, 16, 18).

Total Number of Claims/PCT	*
Number of Independent Claims	*
Number of Priorities	*
Number of Multi-Dependent Claims	*
Number of Drawings	*
Pages for Publication	*
Number of Pages with Drawings	*
Pages of Specification	*
Sequence Listing	*
International Search Report is established	*
International Searching Authority	EPO *
Applicant's Legal Status	Legal Entity *
Small Entity	*
Non-Commercial Organization	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
Entry into National Phase under	Chapter I *
Translation

WO2023161503 - HIGH POWER GENERATOR AND METHOD OF SUPPLYING HIGH POWER PULSES

Quotation for National Phase entry