WO2023066595 - DETECTOR ASSEMBLY, CHARGED PARTICLE DEVICE, APPARATUS, AND METHODS
National phase entry:
Publication Number
WO/2023/066595
Publication Date
27.04.2023
International Application No.
PCT/EP2022/076430
International Filing Date
22.09.2022
Title **
[English]
DETECTOR ASSEMBLY, CHARGED PARTICLE DEVICE, APPARATUS, AND METHODS
[French]
ENSEMBLE DÉTECTEUR, DISPOSITIF À PARTICULES CHARGÉES, APPAREIL ET PROCÉDÉS
Applicants **
ASML NETHERLANDS B.V.
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven, NL
Inventors
WIELAND, Marco, Jan-Jaco
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven, NL
Priority Data
21203434.2
19.10.2021
EP
22159534.1
01.03.2022
EP
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing | 1563 | |
| EPO | Filing, Examination | 5636 | |
| Japan | Filing | 591 | |
| South Korea | Filing | 607 | |
| USA | Filing, Examination | 2710 |
Total: 11107 USD
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Abstract[English]
The present application discloses detector assembly for a charged particle assessment apparatus, the detector assembly comprising a plurality of electrode elements, each electrode element having a major surface configured to be exposed to signal particles emitted from a sample, wherein between adjacent electrode elements is a recess that is recessed relative to the major surfaces of the electrode elements, and wherein at least one of the electrode elements is a detection element configured to detect signal particles and the recess extends laterally behind the detection element. Charged particle assessment devices and apparatus, and corresponding methods are also provided.[French]
La présente demande divulgue un ensemble détecteur pour un appareil d'évaluation de particules chargées, l'ensemble détecteur comprenant une pluralité d'éléments d'électrode, chaque élément d'électrode ayant une surface principale configurée pour être exposée à des particules de signal émises à partir d'un échantillon, entre des éléments d'électrode adjacents étant un évidement qui est en retrait par rapport aux surfaces principales des éléments d'électrode, et au moins l'un des éléments d'électrode étant un élément de détection configuré pour détecter des particules de signal et l'évidement s'étendant latéralement derrière l'élément de détection. L'invention concerne également des dispositifs et des appareils d'évaluation de particules chargées, et des procédés correspondants.