WO2026002337 - REFLEXIONSOPTIK UND MIKROSKOP MIT REFLEXIONSOPTIK
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/002337
Publication Date
02.01.2026
International Application No.
PCT/DE2025/100581
International Filing Date
12.06.2025
Title **
[German]
REFLEXIONSOPTIK UND MIKROSKOP MIT REFLEXIONSOPTIK
[English]
REFLECTION OPTICAL UNIT AND MICROSCOPE COMPRISING AN REFLECTION OPTICAL UNIT
[French]
OPTIQUE DE RÉFLEXION ET MICROSCOPE ÉQUIPÉ D'UNE OPTIQUE DE RÉFLEXION
Applicants **
HELMHOLTZ-ZENTRUM BERLIN FÜR MATERIALIEN UND ENERGIE GESELLSCHAFT MIT BESCHRÄNKTER HAFTUNG
Inventors
SCHNEIDER, Gerd
REHBEIN, Stefan
Priority Data
102024002214.7
25.06.2024
DE
Application details
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
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Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1910 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8126 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2001 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1757 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,534
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft eine Reflexionsoptik (1) zur Fokussierung von elektromagnetischer Strahlung (300) in eine Brennebene (100), umfassend zumindest die folgenden Komponenten: - Einen Mittenstop (12), der auf einer optischen Achse (200) der Reflexionsoptik (1) angeordnet ist, und dazu eingerichtet ist, entlang der optischen Achse (200) in die Reflexionsoptik (1) eingestrahlte elektromagnetische Strahlen (300) am Propagieren parallel zur optischen Achse (200) zu hindern, - eine Röntgenlinse (11) mit einem Röhrchen (11-1), das sich zumindest zwischen dem Mittenstop (12) und der Brennebene (100) entlang der optischen Achse (200) der Reflexionsoptik (1) erstreckt und ein erstes Volumen (V1) radial um die optische Achse (200) begrenzt, so dass durch elektromagnetische Strahlung im ersten Volumen (V1) erzeugte Elektronen (e-) abgeschirmt werden, wobei das Röhrchen (11-2) mit dem Mittenstop (12) eine ringförmige Apertur (18) ausbildet, - ein massives Fenster (13), das das erste Volumen (V1) zur Brennebene (100) hin begrenzt, und umlaufend mit dem Röhrchen (11-2) abschließt, wobei das massive Fenster (13) so beschaffen ist, dass durch elektromagnetische Strahlung im ersten Volumen (V1) erzeugte Elektronen durch das massive Fenster (13) von der Brennebene (100) abgeschirmt werden.[English]
The invention relates to a reflection optical unit (1) for focusing electromagnetic radiation (300) onto a focal plane (100), comprising at least the following components: - a central stop (12) which is arranged on an optical axis (200) of the reflection optical unit (1) and is designed to prevent electromagnetic beams (300) that are radiated into the reflection optical unit (1) along the optical axis (200) from propagating parallel to the optical axis (200), - an X-ray lens (11) having a tube (11-1) which extends at least between the central stop (12) and the focal plane (100) along the optical axis (200) of the reflection optical unit (1) and delimits a first volume (V1) radially around the optical axis (200), such that electrons (e-) generated by electromagnetic radiation in the first volume (V1) are shielded, wherein the tube (11-2) together with the central stop (12) forms a ring-shaped aperture (18), and - a solid window (13) which delimits the first volume (V1) toward the focal plane (100) and which peripherally terminates flush with the tube (11-2), wherein the solid window (13) is configured such that electrons generated by electromagnetic radiation in the first volume (V1) are shielded from the focal plane (100) by the solid window (13).[French]
L'invention concerne une optique de réflexion (1) conçue pour focaliser un rayonnement (300) électromagnétique dans un plan focal (100), comprenant au moins les composants suivants : un obturateur central (12) disposé sur un axe optique (200) de l'optique de réflexion (1) et conçu pour empêcher des rayons électromagnétiques (300) injectés dans l'optique de réflexion (1) le long de l'axe optique (200) de se propager parallèlement à l'axe optique (200), une lentille à rayons X (11) comprenant un petit tube (11-1) s'étendant au moins entre l'obturateur central (12) et le plan focal (100) le long de l'axe optique (200) de l'optique de réflexion (1) et délimitant radialement un premier volume (V1) autour de l'axe optique (200), de sorte que des électrons (e-) générés dans le premier volume (V1) par un rayonnement électromagnétique soient protégés, le petit tube (11-2) formant avec l'obturateur central (12) une ouverture annulaire (18), une fenêtre (13) massive, qui délimite le premier volume (V1) en direction du plan focal (100) et se raccorde périphériquement au petit tube (11-2), la fenêtre (13) massive étant conçue de sorte que des électrons générés dans le premier volume (V1) par un rayonnement électromagnétique soient protégés du plan focal (100) par la fenêtre (13) massive.