WO2026124122 - MICRO-REFLECTOR, SPATIAL LIGHT MODULATOR, AND OPTOMECHANICAL SYSTEM
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/124122
Publication Date
18.06.2026
International Application No.
PCT/CN2025/135315
International Filing Date
17.11.2025
Title **
[English]
MICRO-REFLECTOR, SPATIAL LIGHT MODULATOR, AND OPTOMECHANICAL SYSTEM
[French]
MICRO-RÉFLECTEUR, MODULATEUR SPATIAL DE LUMIÈRE ET SYSTÈME OPTOMÉCANIQUE
[Chinese]
微反射器、空间光调制器以及光机系统
Applicants **
SHENZHEN LIGHTING INSTITUTE
Inventors
LIN, Andrew
Priority Data
202411813294.X
10.12.2024
CN
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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International Searching Authority |
CNIPA
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1605 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 11558 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2029 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1870 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
21,802
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Abstract[English]
The present application provides a micro-reflector, comprising a circuit board, an actuating member, and a reflecting mirror. The circuit board is provided with a first electrode and a second electrode spaced from each other and an intermediate electrode, wherein the intermediate electrode separates the first electrode from the second electrode. The intermediate electrode comprises a support portion, the support portion protruding from the circuit board. The intermediate electrode further comprises a first landing portion and a second landing portion opposite to each other, the first landing portion and the second landing portion being located on two sides of the support portion. The actuating member is supported by the support portion and can flip relative to the support portion. The reflecting mirror is mounted on the actuating member. The intermediate electrode surrounds the first electrode and the second electrode, and the first landing portion and the second landing portion are formed on the intermediate electrode. The intermediate electrode can isolate the first electrode and the second electrode for signal shielding, reducing interference from external signals, and can also simplify a landing structure, reducing the difficulty of manufacturing micro-reflectors, and improving the yield. The present application further provides a spatial light modulator and an optomechanical system.[French]
La présente demande concerne un micro-réflecteur, comprenant une carte de circuit imprimé, un élément d'actionnement et un miroir réfléchissant. La carte de circuit imprimé est pourvue d'une première électrode et d'une seconde électrode espacées l'une de l'autre et d'une électrode intermédiaire, l'électrode intermédiaire séparant la première électrode de la seconde électrode. L'électrode intermédiaire comprend une partie de support, la partie de support faisant saillie à partir de la carte de circuit imprimé. L'électrode intermédiaire comprend en outre une première partie de réception et une seconde partie de réception opposées l'une à l'autre, la première partie de réception et la seconde partie de réception étant trouvant sur deux côtés de la partie de support. L'élément d'actionnement est supporté par la partie de support et peut basculer par rapport à la partie de support. Le miroir réfléchissant est monté sur l'élément d'actionnement. L'électrode intermédiaire entoure la première électrode et la seconde électrode et la première partie de réception et la seconde partie de réception sont formées sur l'électrode intermédiaire. L'électrode intermédiaire peut isoler la première électrode et la seconde électrode pour un blindage de signal, réduire l'interférence provenant de signaux externes et peut également simplifier une structure de réception, ce qui permet de réduire la difficulté de fabrication de micro-réflecteurs, et d'améliorer le rendement. La présente demande concerne en outre un modulateur spatial de lumière et un système optomécanique.[Chinese]
本申请提供一种微反射器，包括电路板、致动件以及反射镜，电路板上设置有间隔的第一电极和第二电极以及中间电极，中间电极分隔第一电极和第二电极，中间电极具有支撑部，支撑部突出于电路板，中间电极还具有相对的第一着陆部和第二着陆部，第一着陆部和第二着陆部位于支撑部的两侧，致动件承载于支撑部，并可相对于支撑部翻转，反射镜安装于致动件。中间电极环绕于第一电极和第二电极外，第一着陆部和第二着陆部形成于中间电极。中间电极既可以隔绝第一电极以及第二电极进行信号屏蔽，减少外界信号干扰，还可以简化着陆结构，降低微反射器的制备难度，提高良品率。本申请还提供一种空间光调制器及光机系统。