WO2026032442 - SENSOR, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND INTERFEROMETRIC MEASUREMENT SYSTEM INCLUDING SAME
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/032442
Publication Date
12.02.2026
International Application No.
PCT/CN2025/113697
International Filing Date
08.08.2025
Title **
[English]
SENSOR, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND INTERFEROMETRIC MEASUREMENT SYSTEM INCLUDING SAME
[French]
CAPTEUR, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET SYSTÈME DE MESURE INTERFÉROMÉTRIQUE LE COMPRENANT
[Chinese]
一种传感器、其制造方法及包含其的干涉测量系统
Applicants **
BEIJING BYWAVE SENSING TECHNOLOGY CO., LTD.
Inventors
JIANG, Meili
ZHANG, Honglin
LIU, Mingquan
ZHANG, Xu
Priority Data
202411087533.8
08.08.2024
CN
202421921190.6
08.08.2024
CN
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
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International Searching Authority |
CNIPA
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Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1661 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 11551 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2030 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1900 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
21,882
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Abstract[English]
A sensor, comprising: a base (1), wherein a pressure-sensitive diaphragm (2) is arranged on a first end (11) of the base (1), and the end face of a second end (12) of the base (1) opposite the first end (11) is fixedly connected to a hollow tube (6); a pressure sensing cavity (3), which is formed between the first end (11) of the base (1) and the pressure-sensitive diaphragm (2) and is sealed by the first end (11) of the base (1) and the pressure-sensitive diaphragm (2), the cavity length of the pressure sensing cavity (3) varying as a pressure to be measured changes; and a temperature sensing cavity (4), which is formed between an incident optical fiber (5) in the hollow tube (6) and a reflective end face of the temperature sensing cavity (4), the cavity length of the temperature sensing cavity (4) varying as a temperature to be measured changes, wherein the temperature sensing cavity (4) and the pressure sensing cavity (3) are arranged opposite each other in the direction in which light exits from the incident optical fiber (5). The manufacturing process is simple, and the pressure and temperature can be demodulated by means of the same demodulation device. Further provided are a sensor manufacturing method and an interferometric measurement system.[French]
L'invention concerne un capteur, comprenant : une base (1), un diaphragme sensible à la pression (2) étant disposé sur une première extrémité (11) de la base (1), et la face d'extrémité d'une seconde extrémité (12) de la base (1) opposée à la première extrémité (11) étant reliée de manière fixe à un tube creux (6) ; une cavité de détection de pression (3), qui est formée entre la première extrémité (11) de la base (1) et le diaphragme sensible à la pression (2) et est scellée par la première extrémité (11) de la base (1) et le diaphragme sensible à la pression (2), la longueur de cavité de la cavité de détection de pression (3) variant en fonction des changements d'une pression à mesurer ; et une cavité de détection de température (4), qui est formée entre une fibre optique incidente (5) dans le tube creux (6) et une face d'extrémité réfléchissante de la cavité de détection de température (4), la longueur de cavité de la cavité de détection de température (4) variant en fonction des changements d'une température à mesurer, la cavité de détection de température (4) et la cavité de détection de pression (3) étant disposées en regard l'une de l'autre dans la direction dans laquelle la lumière sort de la fibre optique incidente (5). Le procédé de fabrication est simple, et la pression et la température peuvent être démodulées au moyen du même dispositif de démodulation. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication de capteur et un système de mesure interférométrique.[Chinese]
一种传感器，包括：基部(1)，基部(1)的第一端部(11)设置压力敏感膜片(2)，与第一端部(11)相对的基部(1)的第二端部(12)的端面与中空管(6)固定连接；压力感应腔(3)，形成在基部(1)的第一端部(11)和压力敏感膜片(2)之间，且由基部(1)的第一端部(11)和压力敏感膜片(2)封闭，压力感应腔(3)的腔长根据待测压力的变化而变化；温度感应腔(4)，形成在中空管(6)中的入射光纤(5)及温度感应腔(4)的反射端面之间，温度感应腔(4)的腔长根据待测温度的变化而变化；温度感应腔(4)与压力感应腔(3)沿光由入射光纤(5)出射的方向相对设置。制造工艺简单，可过同一解调装置实现压力和温度的解调。还提供一种传感器的制造方法和一种干涉测量系统。