WO2023160133 - A DIFFERENTIAL LIGHT-SECTION LINE-SCANNING PROFILOMETRY BASED ON MULTI-ANGLE PROJECTION OF INCOHERENT LIGHT SOURCES

National phase entry is expected:
Publication Number WO/2023/160133
Publication Date 31.08.2023
International Application No. PCT/CN2022/138508
International Filing Date 13.12.2022
Title **
[English] A DIFFERENTIAL LIGHT-SECTION LINE-SCANNING PROFILOMETRY BASED ON MULTI-ANGLE PROJECTION OF INCOHERENT LIGHT SOURCES
[French] PROFILOMÉTRIE DIFFÉRENTIELLE À BALAYAGE LINÉAIRE DE SECTION DE LUMIÈRE BASÉE SUR LA PROJECTION MULTI-ANGLES DE SOURCES DE LUMIÈRE INCOHÉRENTES
Applicants **
XU, Yixin Room103, Building31, No.39.Changbei Road, Baoshan District Shanghai 201900, CN
Inventors
XU, Yixin Room103, Building31, No.39.Changbei Road, Baoshan District Shanghai 201900, CN
Priority Data
202210188214.0   28.02.2022   CN
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Quotation for National Phase entry

Country StagesTotal
China Filing973
EPO Filing, Examination5349
Japan Filing591
South Korea Filing575
USA Filing, Examination4510
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Total: 11998

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Abstract[English] A differential light-section line-scanning profilometry based on multi-angle projection of incoherent light sources (200a, 200b) is provided. It can realize high-speed and high-accuracy measurement. A incoherent line light source (10) and its light-path are provided in place of conventional laser light source. It can solve the problem of the low measurement accuracy caused by speckle which caused by laser projection onto high reflectance object surface. A dual-wavelength differential module (20) and its light-path are provided. It can project brighter and sharper scan-line to improve the measurement speed and accuracy. In order to overcome influence of shadow occlusion, multi-angle capture modules (61, 63, 65, 67) are integrated with multi-angle projection modules (60, 62, 64, 66). It can take complete 3D reconstruction for micro objects such as bump, solder ball.[French] L'invention concerne une profilométrie différentielle à balayage linéaire de section de lumière basée sur une projection multi-angles de sources de lumière incohérentes (200a, 200b). La profilométrie permet de réaliser une mesure à grande vitesse et avec une grande précision. L'invention concerne une source de lumière linéaire incohérente (10) et son trajet lumineux en remplacement d'une source de lumière laser classique. Cela permet de résoudre le problème de la faible précision de mesure due au chatoiement provoqué par la projection laser sur une surface d'objet à réflectance élevée. L'invention concerne également un module différentiel à double longueur d'onde (20) et son trajet lumineux. Le module permet de projeter des lignes de balayage plus lumineuses et plus nettes afin d'améliorer la vitesse et la précision de la mesure. Afin de surmonter l'influence de l'occultation des ombres, des modules de capture multi-angles (61, 63, 65, 67) sont intégrés à des modules de projection multi-angles (60, 62, 64, 66). Une reconstruction complète en 3D peut être réalisée pour des micro-objets tels qu'un bossage ou une perle de soudure.
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