WO2026030736 - ION STRIPPING APPARATUS WITH INTEGRATED QUADRUPOLES
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/030736
Publication Date
05.02.2026
International Application No.
PCT/US2025/040396
International Filing Date
01.08.2025
Title **
[English]
ION STRIPPING APPARATUS WITH INTEGRATED QUADRUPOLES
[French]
APPAREIL D'EXTRACTION D'IONS AVEC QUADRIPÔLES INTÉGRÉS
Applicants **
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors
PLATOW, Wilhelm
DUBOIS, Robert
VANDERBERG, Bo
Priority Data
63/678,095
01.08.2024
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| 译文 |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2171 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 10656 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2307 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2380 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 5340 |
Total:
22,854
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Abstract[English]
An ion implantation system has a first linear accelerator for accelerating ions of an ion beam to a first energy along a beam path. A second linear accelerator positioned downstream of the first linear accelerator along the beam path accelerates the ions to a second energy. A charge stripper has a stripper tube with a passageway positioned between the first and second linear accelerators. A charge stripping medium is provided in the passageway to strip at least one electron from the ions as the ion beam passes through the charge stripping medium. A focusing apparatus is associated with the stripper tube to control a trajectory of the ions within the passageway of the stripper tube. The focusing apparatus can be two or more quadrupoles and include an electrostatic lens, a magnet, a solenoid, or a Einzel lens.[French]
L'invention concerne un système d'extraction d'ions comprenant un premier accélérateur linéaire destiné à accélérer des ions d'un faisceau d'ions jusqu'à une première énergie le long d'un trajet de faisceau. Un deuxième accélérateur linéaire positionné en aval du premier accélérateur linéaire le long du trajet de faisceau accélère les ions jusqu'à une deuxième énergie. Un extracteur de charge comprend un tube d'extraction avec un passage positionné entre les premier et deuxième accélérateurs linéaires. Un milieu d'extraction de charge est disposé dans le passage pour extraire au moins un électron des ions lorsque le faisceau d'ions passe à travers le milieu d'extraction de charge. Un appareil de focalisation est associé au tube d'extraction pour commander une trajectoire des ions à l'intérieur du passage du tube d'extraction. L'appareil de focalisation peut être au moins deux quadripôles et comprendre une lentille électrostatique, un aimant, un solénoïde ou une lentille unipotentielle.