WO2025133932 - DETECTING DISPLACER POSITION IN A CRYOPUMP
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/133932
Publication Date
26.06.2025
International Application No.
PCT/IB2024/062800
International Filing Date
18.12.2024
Title **
[English]
DETECTING DISPLACER POSITION IN A CRYOPUMP
[French]
DÉTECTION DE POSITION DE DISPOSITIF DE DÉPLACEMENT DANS UNE CRYOPOMPE
Applicants **
EDWARDS VACUUM LLC
Inventors
DALGETTY, Michael
VILLALBA RONDON, Diego Alejandro
BOLAT, Rustem
Priority Data
2319510.0
19.12.2023
GB
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
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| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| 译文 |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2024 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8126 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2155 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2071 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
19,116
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Abstract[English]
Embodiments relate to a cryopump comprising a vacuum vessel comprising an inlet for receiving gas. The cryopump further comprises a refrigeration unit comprising: a cold head extending into the vacuum vessel for cooling a cryopanel structure for condensing said gas; a displacer configured to move to cool a refrigerant for cooling said cold head; a motor for controlling movement of said displacer; and a component arranged to move with said displacer. The cryopump further comprises a sensor system comprising: a magnetic material forming at least a portion of said component or a ferromagnetic material forming at least a portion of said component and a permanent magnet component configured to magnetise said ferromagnetic material; and a magnetic sensor positioned to detect a strength of a magnetic field of said component indicative of a position of said component.[French]
Des modes de réalisation concernent une cryopompe comprenant un récipient sous vide comprenant une entrée pour recevoir un gaz. La cryopompe comprend en outre une unité de réfrigération comprenant : une tête froide s'étendant dans le récipient sous vide pour refroidir une structure de cryopanneau pour condenser ledit gaz ; un dispositif de déplacement conçu pour se déplacer pour refroidir un fluide frigorigène pour refroidir ladite tête froide ; un moteur pour commander le mouvement dudit dispositif de déplacement ; et un composant agencé pour se déplacer avec ledit dispositif de déplacement. La cryopompe comprend en outre un système de capteur comprenant : un matériau magnétique formant au moins une partie dudit composant ou un matériau ferromagnétique formant au moins une partie dudit composant et un composant aimant permanent configuré pour magnétiser ledit matériau ferromagnétique ; et un capteur magnétique positionné pour détecter une intensité d'un champ magnétique dudit composant indiquant une position dudit composant.