WO2026119550 - MEMS-BAUTEIL, MEMS-VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER MEMS-VORRICHTUNG
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/119550
Publication Date
11.06.2026
International Application No.
PCT/EP2025/083255
International Filing Date
17.11.2025
Title **
[German]
MEMS-BAUTEIL, MEMS-VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER MEMS-VORRICHTUNG
[English]
MEMS COMPONENT, MEMS DEVICE, AND METHOD FOR OPERATING A MEMS DEVICE
[French]
COMPOSANT MEMS, DISPOSITIF MEMS ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UN DISPOSITIF MEMS
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
SOMMER, Maximilian
MELNIKOV, Anton
SORGER, Alexander
SCHINDELE, Jens
Priority Data
102024135887.4
03.12.2024
DE
Application details
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EPO
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Change of Applicant's Name and Address
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2024 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8126 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2155 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2071 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
19,116
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft ein MEMS-Bauteil (1) mit einer Funktionseinheit (2), einer die Funktionseinheit (2) zumindest abschnittsweise umgebenden Rahmenstruktur (3), einem durch die Rahmenstruktur (3) verlaufenden Zugangskanal (4), wobei der Zugangskanal (4) einen Fluidaustausch zwischen einer Umgebung (5) des MEMS-Bauteils (1) und der Funktionseinheit (2) ermöglicht, und einer an und/oder in dem Zugangskanal (4) angeordneten Partikelschutzeinheit (6), wobei die Partikelschutzeinheit (6) eine Niederschlagselektrode (7) aufweist und dazu eingerichtet ist, bei Anlegen einer elektrischen Spannung an die Niederschlagselektrode (7) eine elektrostatische Anhaftung von Partikeln (8) an der Niederschlagselektrode (7) zu bewirken. Die Erfindung betrifft des Weiteren eine MEMS-Vorrichtung (20) mit einem solchen MEMS-Bauteil (1) und ein Verfahren (100) zum Betrieb der MEMS-Vorrichtung (20).[English]
The invention relates to a MEMS component (1) having a functional unit (2); a frame structure (3) which at least partly surrounds the functional unit (2); an access channel (4) which runs through the frame structure (3), the access channel (4) allowing a fluid exchange between the surroundings (5) of the MEMS component (1) and the functional unit (2); and a particle protection unit (6) which is provided on and/or in the access channel (4), the particle protection unit (6) having a collecting electrode (7) and being designed to produce an electrostatic adhesion of particles (8) to the collecting electrode (7) when an electrical voltage is applied to the collecting electrode (7). The invention also relates to a MEMS device (20) comprising such a MEMS component (1) and to a method (100) for operating the MEMS device (20).[French]
L'invention concerne un composant MEMS (1) ayant une unité fonctionnelle (2) ; une structure de cadre (3) qui entoure au moins partiellement l'unité fonctionnelle (2) ; un canal d'accès (4) qui traverse la structure de cadre (3), le canal d'accès (4) permettant un échange de fluide entre l'environnement (5) du composant MEMS (1) et l'unité fonctionnelle (2) ; et une unité de protection de particules (6) qui est disposée sur et/ou dans le canal d'accès (4), l'unité de protection de particules (6) comportant une électrode de collecte (7) et étant conçue pour produire une adhérence électrostatique de particules (8) à l'électrode de collecte (7) lorsqu'une tension électrique est appliquée à l'électrode de collecte (7). L'invention concerne également un dispositif MEMS (20) comprenant un tel composant MEMS (1) et un procédé (100) de fonctionnement du dispositif MEMS (20).