WO2025214763 - MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG, MIKROELEKTROMECHANISCHER LAUTSPRECHER UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER MIKROELEKTROMECHANISCHEN VORRICHTUNG
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/214763
Publication Date
16.10.2025
International Application No.
PCT/EP2025/058268
International Filing Date
26.03.2025
Title **
[German]
MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG, MIKROELEKTROMECHANISCHER LAUTSPRECHER UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER MIKROELEKTROMECHANISCHEN VORRICHTUNG
[English]
MICROELECTROMECHANICAL APPARATUS, MICROELECTROMECHANICAL SPEAKER, AND METHOD FOR OPERATING A MICROELECTROMECHANICAL APPARATUS
[French]
DISPOSITIF MICROÉLECTROMÉCANIQUE, HAUT-PARLEUR MICROÉLECTROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ POUR FAIRE FONCTIONNER UN DISPOSITIF MICROÉLECTROMÉCANIQUE
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
REINMUTH, Jochen
ROEMER, Frederik
BUCK, Thomas
Priority Data
102024203320.0
11.04.2024
DE
Application details
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The Standard Agent's Assignment
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Legal Entity
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Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2767 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 17742 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2679 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 3141 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 7140 |
Total:
33,469
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft eine mikroelektromechanische Vorrichtung (1) zur Erzeugung eines druckbeaufschlagten Fluidstroms (2) mit einer ein Kammervolumen (3) umschließenden Druckkammer (4) und einer an der Druckkammer (4) angeordneten Verdrängereinheit (5) zur Verdichtung und Förderung eines in dem Kammervolumen (3) befindlichen Fluidvolumens, wobei die Verdrängereinheit (5) eine erste Membran (5a) und eine zweite Membran (5b) aufweist, die relativ zueinander beweglich sind, wobei die mikroelektromechanische Vorrichtung (1) eine erste Antriebseinrichtung (10) aufweist, die zur Anregung der ersten Membran (5a) zu einer ersten Schwingung mit einer ersten Frequenz (f1) und zur Anregung der zweiten Membran (5b) zu einer zweiten Schwingung mit einer von der ersten Frequenz (f1) abweichenden zweiten Frequenz (f2) eingerichtet ist, und wobei die Druckkammer (4) eine überwiegend geschlossene Kammerbegrenzung (6) und eine Fluidausgleichseinrichtung (7) zum Austausch von Fluid zwischen dem Kammervolumen (3) und einer Umgebung (8) der Druckkammer (4) aufweist. Die Erfindung betrifft des Weiteren einen mikroelektromechanischen Lautsprecher (20) und ein Verfahren (100) zum Betrieb einer mikroelektromechanischen Vorrichtung (1).[English]
The invention relates to a microelectromechanical apparatus (1) for generating a pressurized fluid flow (2), comprising: a pressure chamber (4) which surrounds a chamber volume (3); and a displacement unit (5) arranged on the pressure chamber (4), for compressing and conveying a fluid volume located in the chamber volume (3), wherein: the displacement unit (5) has a first diaphragm (5a) and a second diaphragm (5b) which can be moved relative to one another; the microelectromechanical apparatus (1) has a first drive device (10) designed to cause a first oscillation of the first diaphragm (5a) at a first frequency (f1) and to cause a second oscillation of the second diaphragm (5b) at a second frequency (f2) different from the first frequency (f1); and the pressure chamber (4) comprises a largely closed chamber boundary (6) and a fluid equalization device (7) for the exchange of fluid between the chamber volume (3) and surroundings (8) of the pressure chamber (4). The invention also relates to a microelectromechanical speaker (20) and to a method (100) for operating a microelectromechanical apparatus (1).[French]
L'invention concerne un dispositif microélectromécanique (1) pour produire un écoulement de fluide sous pression (2), comprenant une chambre de pression (4) qui entoure un volume de chambre (3) et une unité de déplacement (5) disposée sur la chambre de pression (4) pour comprimer et transporter un volume de fluide situé dans le volume de chambre (3), l'unité de déplacement (5) présentant une première membrane (5a) et une seconde membrane (5b) qui peuvent être déplacées l'une par rapport à l'autre ; l'appareil microélectromécanique (1) comprend un premier dispositif d'entraînement (10) conçu pour provoquer une première vibration de la première membrane (5a) à une première fréquence (f1) et pour provoquer une seconde vibration de la seconde membrane (5b) à une seconde fréquence (f2) différente de la première fréquence (f1) ; et la chambre de pression (4) comprend une délimitation de chambre (6) largement fermée et un dispositif d'équilibrage de fluide (7) pour assurer un échange de fluide entre le volume de chambre (3) et l'environnement (8) de la chambre de pression (4). L'invention concerne également un haut-parleur micro-électromécanique (20) et un procédé (100) pour faire fonctionner un dispositif microélectromécanique (1).