WO2025149385 - MIKROSENSORVORRICHTUNG MIT WENIGSTENS EINER ISOLIERSCHICHT ZWISCHEN SENSORBAUTEIL UND ELEKTRODE
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/149385
Publication Date
17.07.2025
International Application No.
PCT/EP2024/088618
International Filing Date
30.12.2024
Title **
[German]
MIKROSENSORVORRICHTUNG MIT WENIGSTENS EINER ISOLIERSCHICHT ZWISCHEN SENSORBAUTEIL UND ELEKTRODE
[English]
MICROSENSOR DEVICE HAVING AT LEAST ONE INSULATING LAYER BETWEEN A SENSOR COMPONENT AND ELECTRODE
[French]
DISPOSITIF DE MICROCAPTEUR AVEC AU MOINS UNE COUCHE ISOLANTE ENTRE UN COMPOSANT DE CAPTEUR ET L'ÉLECTRODE
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
DANNENBERG, Arne
MAIER, Bernhard
Priority Data
102024200180.5
09.01.2024
DE
Application details
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The Standard Agent's Assignment
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Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1882 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8107 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2000 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1754 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,483
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft eine Mikrosensorvorrichtung (10) zur Messung wenigstens einer Umgebungsgröße einer Sensorumgebung (12), aufweisend ein Trägerelement (14), ein Sensorelement (18) mit wenigstens einem abhängig von der Umgebungsgröße auslenkbaren und zumindest abschnittsweise einen Hohlraum (20) überspannenden Sensorbauteil (22), wenigstens eine in dem Hohlraum (20) angeordnete und gegenüber dem Trägerelement (14) festgelegte Gegenelektrode (26), wenigstens eine in dem Hohlraum (20) angeordnete Elektrode (32), die mit einer der Gegenelektrode (26) in Vertikalrichtung (28) gegenüberliegenden Elektrodenfläche (36) eine von der Auslenkung abhängige elektrische Messkapazität (30) mit der Gegenelektrode (26) bildet, wobei die Elektrode (32) über wenigstens eine Isolierschicht (34), die über den überwiegenden Teil der Elektrodenfläche (36) der Elektrode (32) hinweg durchgängig ist, gegenüber dem Sensorbauteil (22) elektrisch isoliert und an dem Sensorbauteil (22) befestigt ist.[English]
The invention relates to a microsensor device (10) for measuring at least one environmental variable of a sensor environment (12), comprising a support element (14), a sensor element (18) having at least one sensor component (22) which can be deflected on the basis on the environmental variable and spans a cavity (20) at least in sections, at least one counter electrode (26) which is arranged in the cavity (20) and fixed relative to the support element (14), at least one electrode (32) which is arranged in the cavity (20) and which, with an electrode surface (36) opposite the counter electrode (26) in the vertical direction, forms an electrical measuring capacitance (30) with the counter electrode (26) on the basis of the deflection, wherein the electrode (32) is electrically insulated relative to the sensor component (22) and attached to the sensor component (22), by means of at least one insulating layer (34), which can be passed through by the majority of the electrode surface (36) of the electrode (32).[French]
L'invention concerne un dispositif de microcapteur (10) pour mesurer au moins une variable environnementale d'un environnement de capteur (12), comprenant : un élément de support (14) ; un élément de capteur (18) avec au moins un composant de capteur (22) pouvant être dévié sur la base de la variable environnementale et couvrant une cavité (20) au moins par sections ; au moins une contre-électrode (26) placée dans la cavité (20) et fixe par rapport à l'élément de support (14) ; au moins une électrode (32) placée dans la cavité (20) et qui, avec une surface d'électrode (36) opposée à la contre-électrode (26) dans le sens vertical, forme une capacité de mesure électrique (30) avec la contre-électrode (26) sur la base de la déviation, l'électrode (32) étant électriquement isolée par rapport au composant de capteur (22) et fixée à celui-ci au moyen d'au moins une couche isolante (34) pouvant être traversée par la majorité de la surface d'électrode (36) de l'électrode (32).