WO2025131732 - MEMS-BAUELEMENT
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/131732
Publication Date
26.06.2025
International Application No.
PCT/EP2024/084733
International Filing Date
04.12.2024
Title **
[German]
MEMS-BAUELEMENT
[English]
MEMS COMPONENT
[French]
COMPOSANT MEMS
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
SCHELLING, Christoph
ENGELHART, Peter
GEHL, Bernhard
WINDEN, Andreas
Priority Data
102023212932.9
19.12.2023
DE
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
| * | |
| Number of Office Actions | * |
| * | |
International Searching Authority |
EPO
* |
| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
* |
| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
* |
| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
* |
| * | |
| * | |
| * | |
| * | |
| * | |
| Entry into National Phase under |
Chapter I
* |
| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
* |
| 译文 |
|
* The data is based on automatic recognition. Please verify and amend if necessary.
** IP-Coster compiles data from publicly available sources. If this data includes your personal information, you can contact us to request its removal.
Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2216 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 10410 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2279 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2323 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 5340 |
Total:
22,568
The term for entry into the National Phase has expired. This quotation is for informational purposes only
Contact Us
Abstract[German]
Die Erfindung betrifft ein MEMS-Bauelement, umfassend: einen Träger, ein entlang einer Bewegungsrichtung bewegliches Antriebselement, welches am Träger federnd aufgehängt ist und mindestens eine einzeln elektrisch ansteuerbare Antriebselektrode aufweist, eine mit dem Antriebselement verbundene Verdrängerplatte, eine feststehende Aktuatoranordnung, welche mehrere voneinander elektrisch isolierte und einzeln elektrisch ansteuerbare Aktuatorelektroden aufweist, welche entlang der Bewegungsrichtung des beweglichen Antriebselements nacheinander angeordnet sind, wobei die Aktuatorelektroden eingerichtet sind, bei einem elektrischen Ansteuern ein elektrisches Streufeld zu erzeugen, sodass bei einem elektrischen Ansteuern der mindestens einen Antriebselektrode diese eine gerichtete elektrostatische Kraft entlang der Bewegungsrichtung erfährt. Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines MEMS-Bauelements, ein Computerprogramm und ein maschinenlesbares Speichermedium.[English]
The invention relates to a MEMS component, comprising: a support, a drive element which can move along a movement direction and is elastically suspended on the support and which has at least one individually electrically actuatable drive electrode, a displacement plate which is connected to the drive element, and a stationary actuator assembly which has a plurality of individually electrically actuatable actuator electrodes that are electrically insulated from one another and are arranged one after the other along the movement direction of the movable drive element, wherein the actuator electrodes are designed to generate an electric stray field upon being electrically actuated so that when the at least one drive electrode is electrically actuated, the drive electrode is subjected to an electrostatic force oriented along the movement direction. The invention also relates to a method for operating a MEMS component, to a computer program, and to a machine-readable storage medium.[French]
L'invention concerne un composant MEMS comprenant : un support, un élément d'entraînement qui peut se déplacer le long d'une direction de déplacement, qui est suspendu élastiquement sur le support et qui a au moins une électrode d'entraînement actionnable électriquement individuellement, une plaque de déplacement qui est reliée à l'élément d'entraînement et un ensemble actionneur fixe qui a une pluralité d'électrodes d'actionneur actionnables électriquement individuellement qui sont électriquement isolées les unes des autres et sont placées les unes après les autres le long de la direction de déplacement de l'élément d'entraînement mobile, les électrodes d'actionneur étant conçues pour générer un champ électrique parasite lorsqu'elles sont actionnées électriquement de telle sorte que lorsque ladite électrode d'entraînement est actionnée électriquement, l'électrode d'entraînement soit soumise à une force électrostatique orientée le long de la direction de déplacement. L'invention concerne également un procédé de fonctionnement d'un composant MEMS, un programme informatique et un support de stockage lisible par machine.