IP-Coster | WO2024175258 | DIFFERENZIELLER DRUCKSENSOR

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	1882
EPO	Filing, Examination, Granting	8107
Japan	Filing, Examination, Granting	1968
South Korea	Filing, Examination, Granting	1691
USA	Filing, Examination, Granting	4740

Abstract[German] Es wird ein differenzieller Drucksensor (100) zum Erfassen eines Druckunterschiedes zwischen einer ersten und zweiten Medienzugangsöffnung (117, 119) eines Gehäuses (107) des Drucksensors (100) vorgeschlagen, wobei die erste und zweite Medienzugangsöffnung (117, 119) voneinander separiert sind, umfassend: ein MEMS Element (105) mit einer ersten Kavität (115), wobei die erste Kavität (115) mit einer ersten Medienöffnung (120) verbunden ist, die auf einer Unterseite (125) des MEMS Elements (105) ausgebildet ist, wobei die erste Medienöffnung (120) mit der ersten Medienzugangsöffnung (117) des Gehäuses (107) des Drucksensors (100) verbunden ist, wobei die erste Kavität (115) von zumindest einer Membran (135, 170) auf einer Oberseite (140) des MEMS Elements (105) begrenzt wird und die Membran (135, 170) zum Erfassen des Druckunterschiedes zwischen der ersten und zweiten Medienzugangsöffnung (117, 119) ausgebildet ist, und ein ASIC Element (110), das derart oberhalb des MEMS Elements (105) in einer Schichtstruktur (145) angeordnet ist, dass auf einer Oberseite (150) des ASIC Elements (110), die der Oberseite (140) des MEMS Elements (105) gegenüberliegt und zumindest eine ASIC-seitige Kontaktfläche (171) umfasst, und auf der Oberseite (140) des MEMS Elements (105), die zumindest eine MEMS-seitige Kontaktfläche (131) umfasst, eine elektrische Verbindung (177) des MEMS Elements (105) und des ASIC Elements (110) ausbildbar ist.[English] The invention relates to a differential pressure sensor (100) for detecting a pressure difference between a first and a second media access opening (117, 119) of a housing (107) of the pressure sensor (100), said first and second media access opening (117, 119) being separated from one another, comprising: a MEMS element (105) with a first cavity (115), wherein the first cavity (115) is connected to a first media opening (120) that is formed on the MEMS element (105) lower face (125), the first media opening (120) is connected to the first media access opening (117) of the housing (107) of the pressure sensor (100), the first cavity (115) is delimited by at least one diaphragm (135, 170) on the MEMS element (105) upper face (140), and the diaphragm (135, 170) is designed to detect a pressure difference between the first and second media access opening (117, 119); and an ASIC element (110) which is arranged above the MEMS element (105) in a layer structure (145) such that an electric connection (177) between the MEMS element (105) and the ASIC element (110) can be formed on the ASIC element (110) upper face (150), which lies opposite the MEMS element (105) upper face (140) and comprises at least one ASIC-side contact surface (171), and on the MEMS element (105) upper face (140), which comprises at least one MEMS-side contact surface (131).[French] L'invention concerne un capteur de pression différentielle (100) pour la détection d'une différence de pression entre une première et une seconde ouverture d'accès au milieu (117, 119) d'un boîtier (107) du capteur de pression (100), lesdites première et seconde ouvertures d'accès au milieu (117, 119) étant séparées l'une de l'autre, comprenant : un élément à système microélectromécanique (MEMS) (105) ayant une première cavité (115), la première cavité (115) étant reliée à une première ouverture de milieu (120) qui est formée sur la face inférieure (125) de l'élément MEMS (105), la première ouverture de milieu (120) étant reliée à la première ouverture d'accès au milieu (117) du boîtier (107) du capteur de pression (100), la première cavité (115) étant délimitée par au moins un diaphragme (135, 170) sur la face supérieure (140) de l'élément MEMS (105), et le diaphragme (135, 170) étant conçu pour détecter une différence de pression entre les première et seconde ouvertures d'accès au milieu (117, 119) ; et un élément à circuit intégré spécifique à une application (ASIC) (110) qui est agencé au-dessus de l'élément MEMS (105) dans une structure de couche (145) de telle sorte qu'une connexion électrique (177) entre l'élément MEMS (105) et l'élément ASIC (110) puisse être formée sur la face supérieure de l'élément ASIC (110), qui est située opposée à la face supérieure de l'élément MEMS (105) et comprend au moins une surface de contact côté ASIC (171), et sur la face supérieure de l'élément MEMS (105), qui comprend au moins une surface de contact côté MEMS (131).

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Small Entity	*
Non-Commercial Organization	*
Micro Entity	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
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Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
译文

WO2024175258 - DIFFERENZIELLER DRUCKSENSOR

Quotation for National Phase entry

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