WO2025123052 - SYSTEM AND METHOD OF VERIFYING WORKPIECE ALIGNMENT
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/123052
Publication Date
12.06.2025
International Application No.
PCT/US2024/059244
International Filing Date
09.12.2024
Title **
[English]
SYSTEM AND METHOD OF VERIFYING WORKPIECE ALIGNMENT
[French]
SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE VÉRIFICATION D'ALIGNEMENT DE PIÈCE À TRAVAILLER
Applicants **
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors
NOURI, Yusef
Priority Data
63/607,189
07.12.2023
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2282 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 11115 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2327 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2360 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
22,824
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Abstract[English]
A workpiece processing system and method are disclosed for determining an alignment of a workpiece upon a workpiece support using a retractable sensor. A sensor moves in/out relative to an edge of the workpiece support to obtain positional data while the workpiece support is rotated. Based on the positional data, the alignment of the workpiece and workpiece support may be determined. After determining the alignment, the sensor may be retracted behind the workpiece support, such that the sensor is shielded by the workpiece support from an ion beam during ion implantation. Using a helical motion, an angle between the sensor and a support surface of the workpiece support may be maintained approximately constant during the measurement.[French]
L'invention divulgue un système et un procédé de traitement de pièce à travailler pour déterminer un alignement d'une pièce à travailler sur un support de pièce à travailler à l'aide d'un capteur rétractable. Un capteur se déplace vers l'intérieur/vers l'extérieur par rapport à un bord du support de pièce à travailler pour obtenir des données de position tandis que le support de pièce à travailler est amené à tourner. Sur la base des données de position, l'alignement de la pièce à travailler et du support de pièce à travailler peut être déterminé. Après la détermination de l'alignement, le capteur peut être rétracté derrière le support de pièce à travailler, de telle sorte que le capteur est protégé par le support de pièce à travailler contre un faisceau d'ions pendant l'implantation ionique. À l'aide d'un mouvement hélicoïdal, un angle entre le capteur et une surface de support du support de pièce à travailler peut être maintenu approximativement constant pendant la mesure.