WO2026121962 - POSITIONING STAGE FOR CRYOGENIC CHIP PROBING.
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/121962
Publication Date
11.06.2026
International Application No.
PCT/NL2025/150004
International Filing Date
01.12.2025
Title **
[English]
POSITIONING STAGE FOR CRYOGENIC CHIP PROBING.
[French]
ÉTAGE DE POSITIONNEMENT POUR SONDAGE DE PUCE CRYOGÉNIQUE
Applicants **
JPE
Inventors
JANSSEN, Hubertus Leonardus Mathias Marie
VAN BREE, Bartholomeus Catharina Thomas
DE BRUIJN, Remco Jos Geert
Priority Data
1045006
03.12.2024
NL
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
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| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1880 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8147 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2018 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1741 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 8340 |
Total:
22,126
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Abstract[English]
The invention concerns a wafer positioning stage with 4 degrees of freedom for use in a cryogenic environment and suited for cryogenic chip probing. Special focus has been attended to realize high speed and considerable lifetime improvements with respect to current piezo based positioners. In the presented concept we introduce cryogenic compatible electromagnetic linear motors in close distance to the contacting probes which enables high speed, no wear, and precise displacements. All required 4 degrees of freedom, positioning in X, Y, rotation around Z and probing action Z-displacement have been integrated in a stand-alone module. Special attention has been paid to keep the substrate table at the desired temperature under moving circumstances and minimizing the dissipation during cryogenic chip probing[French]
L'invention concerne un étage de positionnement de plaquettes à 4 degrés de liberté destiné à être utilisé dans un environnement cryogénique et adapté au sondage de puce cryogénique. Une attention particulière a été accordée à la réalisation d'améliorations rapides et considérables de la durée de vie par rapport aux positionneurs piézoélectriques actuels. Dans le concept présenté, nous introduisons des moteurs linéaires électromagnétiques compatibles cryogéniques à proximité des sondes de contact, ce qui permet une vitesse élevée, l'absence d'usure et des déplacements précis. La totalité des 4 degrés de liberté requis, le positionnement en X, Y, la rotation autour de Z et le déplacement Z de l'action de sondage ont été intégrés dans un module autonome. Une attention particulière a été accordée au maintien de la table de substrat à la température souhaitée dans des circonstances de mouvement et à la minimisation de la dissipation pendant le sondage de puce cryogénique.