WO2026126098 - INTERFEROMETRIC DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM AND METHODS
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/126098
Publication Date
18.06.2026
International Application No.
PCT/IB2025/062640
International Filing Date
10.12.2025
Title **
[English]
INTERFEROMETRIC DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM AND METHODS
[French]
SYSTÈME ET PROCÉDÉS DE MESURE DE DÉPLACEMENT INTERFÉROMÉTRIQUE
Applicants **
TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN
Inventors
LOOMAN, Kevin
CACACE, Lennino
BLOM, Lowe
Priority Data
63/730,587
11.12.2024
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2707 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 15193 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2514 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2739 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 5940 |
Total:
29,093
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Abstract[English]
A displacement measurement interferometer has a beam coupler to decollimate source radiation; beam-splitting optics that (a) output the source radiation toward a reflective target and (b) split reflected radiation into a single-pass optical beam and a multi-pass optical beam; and reflective optics to retroreflect the multi-pass optical beam through the beam-splitting optics to the reflective target. A method for measuring displacement of an object includes: reflecting non-collimated source radiation off a surface of the object; splitting reflected radiation from the surface of the object into a single-pass optical beam and a multi-pass optical beam; retroreflecting the multi-pass optical beam to the surface; and determining the displacement from an interference signal between the single-pass optical beam and the multi-pass optical beam after the single-pass optical beam reflects off the surface and after the multi-pass optical beam reflects off the surface at least twice.[French]
L'invention concerne un interféromètre de mesure de déplacement comprenant un coupleur de faisceau destiné à décollimater un rayonnement de source ; une optique de division de faisceau qui (a) délivre en sortie le rayonnement de source vers une cible réfléchissante et (b) divise le rayonnement réfléchi en un faisceau optique à passage unique et un faisceau optique à passages multiples ; et une optique réfléchissante destinée à rétroréfléchir le faisceau optique à passages multiples à travers l'optique de division de faisceau vers la cible réfléchissante. L'invention concerne également un procédé de mesure du déplacement d'un objet consistant à : réfléchir un rayonnement de source non collimaté sur une surface de l'objet ; diviser le rayonnement réfléchi à partir de la surface de l'objet en un faisceau optique à passage unique et un faisceau optique à passages multiples ; rétroréfléchir le faisceau optique à passages multiples vers la surface ; et déterminer le déplacement à partir d'un signal de brouillage entre le faisceau optique à passage unique et le faisceau optique à passages multiples après que le faisceau optique à passage unique se soit réfléchi sur la surface et après que le faisceau optique à passages multiples se soit réfléchi sur la surface au moins deux fois.