WO2026028068 - FOREIGN MATTER DEPOSITION AMOUNT ESTIMATION DEVICE AND VACUUM PUMP
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/028068
Publication Date
05.02.2026
International Application No.
PCT/IB2025/057614
International Filing Date
28.07.2025
Title **
[English]
FOREIGN MATTER DEPOSITION AMOUNT ESTIMATION DEVICE AND VACUUM PUMP
[French]
DISPOSITIF D'ESTIMATION DE QUANTITÉ DE DÉPÔT DE MATIÈRE ÉTRANGÈRE ET POMPE À VIDE
Applicants **
EDWARDS JAPAN LIMITED
Inventors
KABASAWA, Takashi
Priority Data
2024-125018
31.07.2024
JP
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
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| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
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| Number of Pages with Drawings | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2027 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8641 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 1976 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1685 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
19,069
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Abstract[English]
] Provided is a foreign matter deposition amount estimation device capable of estimating a deposition amount of foreign matter. A foreign matter deposition amount estimation device 210 used in a turbo molecular pump 100 including an inlet port and an outlet port includes: an exhaust member 212 connectable to the outlet port 133; a conductor member 214 which is disposed at an inner side of the exhaust member 212, at least a part of the conductor being provided with a gap t with respect to an inner peripheral surface 213 of the exhaust member 212, and to which a voltage for detecting electrostatic capacitance is applied between the conductor member and the exhaust member 212; a measurement device 216 that measures electrostatic capacitance between the exhaust member 212 and the conductor member 214; and an arithmetic device 218 that estimates from a change in electrostatic capacitance a deposition amount of foreign matter inside the turbo molecular pump 100.[French]
La présente invention concerne un dispositif d'estimation de quantité de dépôt de matière étrangère capable d'estimer une quantité de dépôt de matière étrangère. Un dispositif d'estimation de quantité de dépôt de matière étrangère (210) utilisé dans une pompe turbomoléculaire (100) comprenant un orifice d'entrée et un orifice de sortie comporte : un élément d'évacuation (212) pouvant être raccordé à l'orifice de sortie (133) ; un élément conducteur (214) qui est disposé sur un côté interne de l'élément d'évacuation (212), au moins une partie du conducteur étant pourvue d'un espace t par rapport à une surface périphérique interne (213) de l'élément d'évacuation (212), et auquel une tension pour détecter une capacité électrostatique est appliquée entre l'élément conducteur et l'élément d'évacuation (212) ; un dispositif de mesure (216) qui mesure la capacité électrostatique entre l'élément d'évacuation (212) et l'élément conducteur (214) ; et un dispositif arithmétique (218) qui estime à partir d'un changement de capacité électrostatique une quantité de dépôt de matière étrangère à l'intérieur de la pompe turbomoléculaire (100).