WO2025158315 - PUMP SYSTEMS
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/158315
Publication Date
31.07.2025
International Application No.
PCT/IB2025/050709
International Filing Date
23.01.2025
Title **
[English]
PUMP SYSTEMS
[French]
SYSTÈMES DE POMPE
Applicants **
EDWARDS VACUUM LLC
Inventors
KOZOMORA, Nevenka
WILLSON, Derek Paul
KALE, Kaustubh
Priority Data
63/625,038
25.01.2024
US
2408742.1
18.06.2024
GB
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
EPO
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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* The data is based on automatic recognition. Please verify and amend if necessary.
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2135 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 9156 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2241 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2198 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 5340 |
Total:
21,070
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Abstract[English]
Embodiments relate to a cryopump system. The cryopump system comprises a cryochiller configured to cool refrigerant to a first cryogenic temperature for supply to a single-stage cryocooler of a cryopump. The cryopump system further comprises the cryopump which comprises the single-stage cryocooler configured to cool the refrigerant from the first cryogenic temperature to a second cryogenic temperature lower than the first cryogenic temperature. The single-stage cryocooler is configured to operate using a different refrigeration cycle to the cryochiller. The cryopump further comprises a cryogenic surface configured to be cooled by the single-stage cryocooler to the second cryogenic temperature for capturing gas.[French]
Des modes de réalisation concernent un système de pompe cryogénique. Le système de pompe cryogénique comprend un refroidisseur cryogénique conçu pour refroidir un fluide frigorigène à une première température cryogénique en vue de son acheminement vers un cryoréfrigérateur mono-étagé d'une pompe cryogénique. Le système de pompe cryogénique comprend en outre la pompe cryogénique qui comprend le cryoréfrigérateur mono-étagé conçu pour refroidir le fluide frigorigène à partir de la première température cryogénique jusqu'à une seconde température cryogénique inférieure à la première température cryogénique. Le cryoréfrigérateur mono-étagé est conçu pour fonctionner en utilisant un cycle de réfrigération différent du celui du refroidisseur cryogénique. La pompe cryogénique comprend en outre une surface cryogénique conçue pour être refroidie par le cryoréfrigérateur mono-étagé à la seconde température cryogénique pour le piégeage de gaz.