WO2025133714 - MULTIPLEXED THERMAL CONTROL WAFER AND COLDPLATE
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/133714
Publication Date
26.06.2025
International Application No.
PCT/IB2024/053636
International Filing Date
12.04.2024
Title **
[English]
MULTIPLEXED THERMAL CONTROL WAFER AND COLDPLATE
[French]
TRANCHE DE RÉGULATION THERMIQUE MULTIPLEXÉE ET PLAQUE FROIDE
Applicants **
AEM SINGAPORE PTE. LTD.
Inventors
KABBANI, Samer
VEISTINEN, Taneli
CONNACHER, Terry Sinclair
MIKOLA, Sami
JONES, Thomas P.
KUUKKALA, Ari
Priority Data
18/390,918
20.12.2023
US
18/390,935
20.12.2023
US
18/390,951
20.12.2023
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
| Pages of Specification | * |
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| Number of Office Actions | * |
| * | |
International Searching Authority |
IPOS
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 3008 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 20270 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2618 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 3080 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 16140 |
Total:
45,116
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Abstract[English]
Disclosed herein are systems and methods for controlling temperature(s) using a thermal control assembly (TCA) and a coldplate. The TCA comprises independently controllable thermal zones for controlling its top surface temperature. The thermal zones may be heater zones, cooling zones, or both. Energy input to the TCA may be selectively applied by, e.g., a thermal controller, such that different sets of thermal zones receive the energy at different times. In some embodiments, the energy input to the TCA may be selectively applied to two more independently controllable heater zones at the same time, the energy input to the TCA may be selectively applied to two or more independently controllable cooling zones at the same time, or both. In some aspects, less than all thermal zones may be activated at the same time, providing a higher power density for the thermal zones for a given energy input to the TCA.[French]
L'invention concerne des systèmes et des procédés de régulation de température(s) à l'aide d'un ensemble de régulation thermique (TCA) et d'une plaque froide. Le TCA comprend des zones thermiques pouvant être commandées indépendamment pour réguler sa température de surface supérieure. Les zones thermiques peuvent être des zones de chauffage, des zones de refroidissement ou les deux. L'entrée d'énergie dans le TCA peut être sélectivement appliquée par, par exemple, un dispositif de régulation thermique, de telle sorte que différents ensembles de zones thermiques reçoivent l'énergie à différents moments. Dans certains modes de réalisation, l'entrée d'énergie dans le TCA peut être sélectivement appliquée à au moins deux zones de chauffage pouvant être commandées indépendamment en même temps, l'entrée d'énergie dans le TCA peut être appliquée sélectivement à au moins deux zones de refroidissement pouvant être commandées indépendamment en même temps, ou les deux. Selon certains aspects, moins que toutes les zones thermiques peuvent être activées en même temps, fournissant une densité de puissance plus élevée pour les zones thermiques pour une entrée d'énergie donnée dans le TCA.