WO2025040957 - THERMAL CONTROL WAFER WITH INTEGRATED HEATING-SENSING ELEMENTS
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/040957
Publication Date
27.02.2025
International Application No.
PCT/IB2024/053062
International Filing Date
28.03.2024
Title **
[English]
THERMAL CONTROL WAFER WITH INTEGRATED HEATING-SENSING ELEMENTS
[French]
TRANCHE DE RÉGULATION THERMIQUE AVEC ÉLÉMENTS DE DÉTECTION DE CHAUFFAGE INTÉGRÉS
Applicants **
AEM SINGAPORE PTE. LTD.
Inventors
OSTROWSKI, Carl L.
CONNACHER, Terry Sinclair
KABBANI, Samer
ALEMAN, Enrique
JONES, Thomas P.
DINESCU, Sorin
Priority Data
18/454,737
23.08.2023
US
18/454,741
23.08.2023
US
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
| Number of Independent Claims | * |
| Number of Priorities | * |
| Number of Multi-Dependent Claims | * |
| Number of Drawings | * |
| Pages for Publication | * |
| Number of Pages with Drawings | * |
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| Number of Office Actions | * |
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International Searching Authority |
IPOS
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| Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address |
Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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| Translation |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2738 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 19402 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2595 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 3071 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 6540 |
Total:
34,346
The term for entry into the National Phase has expired. This quotation is for informational purposes only
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Abstract[English]
Disclosed herein are systems and methods comprising a thermal control wafer (TCW) comprising a plurality of heater zones. A heater zone may comprise a heater-sensing element that generates heat during a heating mode and provides a resistance during a sensing mode. During testing, a wafer under test (WUT) may be placed on top of a chuck assembly. The TCW may be part of or separate from the chuck assembly. Controlling one or more heater zones on the TCW may control the temperatures of DUT(s) while being tested. The thermal controller may comprise a plurality of thermal control channel multiplexed to a plurality of heater zones. E.g., one or more first heater zones can be activated at a first time, one or more second heater zones can be activated at a second time, one or more third heater zones can be activated at a third time, etc.[French]
Des systèmes et des procédés comprenant une tranche de régulation thermique (TCW) comprenant une pluralité de zones de chauffage sont divulgués. Une zone de chauffage peut comprendre un élément de détection de dispositif de chauffage qui génère de la chaleur pendant un mode de chauffage et confère une résistance pendant un mode de détection. Pendant le test, une tranche à l'essai (WUT) peut être placée au-dessus d'un ensemble mandrin. La TCW peut faire partie ou être séparée de l'ensemble mandrin. La commande d'une ou de plusieurs zones de chauffage sur la TCW peut commander les températures du ou des DUT pendant qu'elles sont testées. Le dispositif de commande thermique peut comprendre une pluralité de canaux de commande thermique multiplexés à une pluralité de zones de chauffage. Par exemple, une ou plusieurs premières zones de chauffage peuvent être activées à un premier instant, une ou plusieurs deuxièmes zones de chauffage peuvent être activées à un deuxième instant, une ou plusieurs troisièmes zones de chauffage peuvent être activées à un troisième instant, etc.