WO2026120007 - MIKROMECHANISCHER SENSOR FÜR EINE WASSER- ODER FEUCHTIGKEITSAUFWEISENDE UMGEBUNG
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/120007
Publication Date
11.06.2026
International Application No.
PCT/EP2025/085330
International Filing Date
03.12.2025
Title **
[German]
MIKROMECHANISCHER SENSOR FÜR EINE WASSER- ODER FEUCHTIGKEITSAUFWEISENDE UMGEBUNG
[English]
MICROMECHANICAL SENSOR FOR AN ENVIRONMENT CONTAINING WATER OR MOISTURE
[French]
CAPTEUR MICROMÉCANIQUE POUR UN ENVIRONNEMENT CONTENANT DE L'EAU OU DE L'HUMIDITÉ
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
WEBER, Heribert
MACH, Sophielouise
FRIEDRICH, Thomas
DANNENBERG, Arne
ROHLFING, Franziska
ROY, Apurva
DOGEI, Tamas
Priority Data
102024136031.3
04.12.2024
DE
Application details
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EPO
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1937 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8149 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2076 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1865 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,767
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor (10) zur Erfassung einer Messgröße, aufweisend ein Substrat (14), eine abhängig von der Messgröße in eine Normalrichtung (16) auslenkbare und wenigstens ein Membranmaterial (18) aufweisende Membran (20), die über einen Membranrand (22) an das Substrat (14) anschließt und die mit einer Membranoberfläche (24) einer Feuchtigkeit aufweisenden Umgebung (26) zugewandt ist, wobei die der Umgebung (26) zugewandten Membranoberfläche (24) innerhalb des Membranrands (22) wenigstens einen lokal begrenzten ersten Bereich (32) und einen dazu lateral versetzten zweiten Bereich (34) aufweist, wobei in dem wenigstens einen ersten Bereich (32) auf der Membranoberfläche (24) eine Zusatzschicht (40) angeordnet ist, die eine andere hygromechanische Materialstruktur aufweist als der zweite Bereich (34).[English]
The invention relates to a micromechanical sensor (10) for detecting a measured variable, comprising a substrate (14), a membrane (20) which can be deflected in a normal direction (16) depending on the measured variable, has at least one membrane material (18) and adjoins the substrate (14) via a membrane edge (22), and a membrane surface (24) of said membrane faces an environment (26) containing moisture, wherein the membrane surface (24) facing the environment (26) has, within the membrane edge (22), at least one locally delimited first region (32) and a second region (34) laterally offset from said first region, wherein, in the at least one first region (32), an additional layer (40) is arranged on the membrane surface (24), said additional layer having a different hydromechanical material structure than the second region (34).[French]
L'invention concerne un capteur micromécanique (10) pour détecter une grandeur mesurée, comprenant un substrat (14), une membrane (20) qui peut être déviée dans une direction normale (16) en fonction de la grandeur mesurée, qui comporte au moins un matériau de membrane (18) et jouxte le substrat (14) via un bord de membrane (22), et une surface de membrane (24) de ladite membrane fait face à un environnement (26) contenant de l'humidité, la surface de membrane (24) faisant face à l'environnement (26) présentant, à l'intérieur du bord de membrane (22), au moins une première région localement délimitée (32) et une deuxième région (34) décalée latéralement de ladite première région, une couche supplémentaire (40) étant disposée sur la surface de membrane (24) dans l'au moins une première région (32), ladite couche supplémentaire présentant une structure de matériau hydromécanique différente de la deuxième région (34).