IP-Coster | WO2026109341 | verfahren zur lageregelung eines membranverbunds zu einer mittenelektrodenstruktur eines mems-sensors

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	1992
EPO	Filing, Examination, Granting	8507
Japan	Filing, Examination, Granting	1985
South Korea	Filing, Examination, Granting	1676
USA	Filing, Examination, Granting	5340

Abstract[German] Die Erfindung betrifft ein Verfahren und ein System zur Lageregelung eines Membranverbunds zu einer Mittenelektrodenstruktur eines MEMS-Sensors zur Messung einer Umgebungsgröße einer Sensorumgebung. Es ist insbesondere vorgesehen, dass zumindest bereichsweise Elektrodenstrukturen zwischen deformierbaren Membranbereichen und einer Mittenelektrodenstruktur, welche sich zwischen den zwei Membranen befindet, eingefügt werden. Diese zusätzlichen Elektrodenstrukturen werden dabei insbesondere beabstandet von den deformierbaren Membranbereichen der Membranstrukturen, also der ersten und der zweiten Membran, und beabstandet von der Mittenelektrodenstruktur an den die Membranstruktur mechanisch verbindenden und die Mittenelektrodenstruktur frei beweglich durchdringenden Stützstrukturen befestigt. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Messen einer jeweiligen Kapazitätsänderung von zumindest einer der ersten und der zweiten Kondensatorstruktur, Anlegen einer jeweiligen elektrischen Spannung an der zumindest einen der ersten und der zweiten Kondensatorstruktur basierend auf der jeweils gemessenen Kapazitätsänderung von der zumindest einen der ersten und der zweiten Kondensatorstruktur, um eine einer Auslenkung des Membran- /Elektrodenverbunds entgegenwirkende elektrostatische Kraft zu erzeugen, um eine Lage des Membran-/Elektrodenverbunds zu regeln. Die Erfindung betrifft ein Computerprogramm und ein maschinenlesbares Speichermedium.[English] The invention relates to a method and a system for controlling the position of a membrane composite relative to a central electrode structure of a MEMS sensor for measuring a surroundings variable of the sensor surroundings. In particular, electrode structures are inserted at least in some regions between deformable membrane regions and a central electrode structure located between the two membranes. The additional electrode structures are secured, in particular at a distance from the deformable membrane regions of the membrane structures, i.e. the first and the second membrane, and at a distance from the central electrode structure, to the support structures which mechanically connect the membrane structure and pass through the central electrode structure so as to be freely movable. The method has the following steps: measuring a respective change in capacitance of at least one capacitor structure of the first and the second capacitor structures, and applying a respective electrical voltage to the at least one capacitor structure of the first and the second capacitor structures on the basis of the respective measured change in capacitance of the at least one capacitor structure of the first and the second capacitor structures in order to generate an electrostatic force which counteracts a deflection of the membrane/electrode composite in order to control the position of the membrane/electrode composite. The invention also relates to a computer program and to a machine-readable storage medium.[French] L'invention concerne un procédé et un système de commande de la position d'un composite de membrane par rapport à une structure d'électrode centrale d'un capteur MEMS permettant de mesurer une variable d'environnement de l'environnement de capteur. En particulier, des structures d'électrode sont insérées au moins dans certaines régions entre des régions de membrane déformable et une structure d'électrode centrale située entre les deux membranes. Les structures d'électrode supplémentaires sont fixées, en particulier à une certaine distance des régions de membrane déformables des structures de membrane, à savoir les première et seconde membranes, et à une certaine distance de la structure d'électrode centrale, aux structures de support qui relient mécaniquement la structure de membrane et passent à travers la structure d'électrode centrale de manière à être librement mobiles. Le procédé comprend les étapes suivantes : la mesure d'un changement respectif de capacité d'au moins une structure de condensateur des première et seconde structures de condensateur, et l'application d'une tension électrique respective à l'au moins une structure de condensateur des première et seconde structures de condensateur sur la base du changement mesuré respectif de capacité de l'au moins une structure de condensateur des première et seconde structures de condensateur afin de générer une force électrostatique qui s'oppose à un écart du composite membrane/électrode afin de commander la position du composite membrane/électrode. L'invention concerne également un programme informatique et un support de stockage lisible par machine.

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Type of Assignment	The Standard Agent's Assignment *
Applicant's Legal Status	Legal Entity *
Small Entity	*
Non-Commercial Organization	*
Micro Entity	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
Entry into National Phase under	Chapter I *
Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
Translation

WO2026109341 - verfahren zur lageregelung eines membranverbunds zu einer mittenelektrodenstruktur eines mems-sensors

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