IP-Coster | WO2026057314 | MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON FLUIDPULSEN, MIKROELEKTROMECHANISCHER LAUTSPRECHER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROELEKTROMECHANISCHEN VORRICHTUNG

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	2487
EPO	Filing, Examination, Granting	13893
Japan	Filing, Examination, Granting	2493
South Korea	Filing, Examination, Granting	2657
USA	Filing, Examination, Granting	5740

Abstract[German] Die Erfindung betrifft eine mikroelektromechanische Vorrichtung (1) zur Erzeugung von Fluidpulsen, aufweisend eine Trägerstruktur (2) mit einer ersten Trägerseite (2a) und einer zweiten Trägerseite (2b), eine in der Trägerstruktur (2) ausgebildete Verdrängereinheit (3) mit beweglichen Verdrängerelementen (4a), die sich zwischen einem der ersten Trägerseite (2a) zugewandten ersten Umgebungsvolumen (5) und einem der zweiten Trägerseite (2b) zugewandten zweiten Umgebungsvolumen (6) erstrecken, eine Antriebseinrichtung zur Auslenkung der Verdrängerelemente (4a); und eine in der Trägerstruktur (2) und/oder in einer Schaltungsträgerstruktur (2) der mikroelektromechanischen Vorrichtung (1) ausgebildete Ventileinrichtung (7) mit einem sich vertikal zwischen dem ersten Umgebungsvolumen (5) und dem zweiten Umgebungsvolumen (6) erstreckenden Fluidkanal (8) und mit einem beweglichen Ventilelement (9), wobei das bewegliche Ventilelement (9) dazu eingerichtet ist, unterhalb einer vorgegebenen Mindestdruckdifferenz zwischen dem ersten Umgebungsvolumen (5) und dem zweiten Umgebungsvolumen (6) den Fluidkanal (8) zu sperren und ab der vorgegebenen Mindestdruckdifferenz selbsttätig den Fluidkanal (8) freizugeben. Die Erfindung betrifft auch einen mikroelektromechanischen Lautsprecher (20) und ein Verfahren (100) zur Herstellung einer solchen mikroelektromechanischen Vorrichtung (1).[English] The invention relates to a microelectromechanical apparatus (1) for generating fluid pulses, comprising: a carrier structure (2) having a first carrier side (2a) and a second carrier side (2b); a displacing unit (3) which is formed in the carrier structure (2) and has movable displacing elements (4a) which extend between a first environment volume (5) facing the first carrier side (2a) and a second environment volume (6) facing the second carrier side (2b); a drive device for deflecting the displacing elements (4a); and a valve device (7) which is formed in the carrier structure (2) and/or in a circuit carrier structure (2) of the microelectromechanical apparatus (1) and has a fluid channel (8) extending vertically between the first environment volume (5) and the second environment volume (6) and has a movable valve element (9), the movable valve element (9) being designed such that, below a predefined minimum pressure difference between the first environment volume (5) and the second environment volume (6), the movable valve element blocks the fluid channel (8) and, starting from the predefined minimum pressure difference, the movable valve element automatically leaves the fluid channel (8) unblocked. The invention also relates to a microelectromechanical speaker (20) and to a method (100) for producing a microelectromechanical apparatus (1) of this type.[French] L'invention concerne un appareil microélectromécanique (1) pour générer des impulsions de fluide, comprenant : une structure de support (2) ayant un premier côté de support (2a) et un second côté de support (2b) ; une unité de déplacement (3) qui est formée dans la structure de support (2) et comporte des éléments de déplacement mobiles (4a) qui s'étendent entre un premier volume d'environnement (5) faisant face au premier côté de support (2a) et un second volume d'environnement (6) faisant face au second côté de support (2b) ; un dispositif d'entraînement pour dévier les éléments de déplacement (4a) ; et un dispositif de soupape (7) qui est formé dans la structure de support (2) et/ou dans une structure de support de circuit (2) de l'appareil microélectromécanique (1) et comporte un canal de fluide (8) s'étendant verticalement entre le premier volume d'environnement (5) et le second volume d'environnement (6) et comporte un élément de soupape mobile (9), l'élément de soupape mobile (9) étant conçu de telle sorte que, au-dessous d'une différence de pression minimale prédéfinie entre le premier volume d'environnement (5) et le second volume d'environnement (6), l'élément de soupape mobile bloque le canal de fluide (8) et, à partir de la différence de pression minimale prédéfinie, l'élément de soupape mobile quitte automatiquement le canal de fluide (8) débloqué. L'invention concerne également un haut-parleur microélectromécanique (20) et un procédé (100) de production d'un appareil microélectromécanique (1) de ce type.

Total Number of Claims/PCT	*
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Number of Pages with Drawings	*
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Type of Assignment	The Standard Agent's Assignment *
Applicant's Legal Status	Legal Entity *
Small Entity	*
Non-Commercial Organization	*
Micro Entity	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
Entry into National Phase under	Chapter I *
Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
Translation

WO2026057314 - MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON FLUIDPULSEN, MIKROELEKTROMECHANISCHER LAUTSPRECHER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROELEKTROMECHANISCHEN VORRICHTUNG

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