IP-Coster | WO2026057304 | KAPAZITIVER DRUCKSENSOR MIT EINER FREITRAGENDEN SENSIERSTRUKTUR

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	2043
EPO	Filing, Examination, Granting	8421
Japan	Filing, Examination, Granting	2113
South Korea	Filing, Examination, Granting	1928
USA	Filing, Examination, Granting	4740

Abstract[German] Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Drucksensor (10) zur Messung einer Druckgröße, aufweisend einen aus mehreren entlang einer Normalrichtung (12) gestapelten Schichten (14) gebildeten Schichtaufbau (16) und wenigstens eine Sensierstruktur (18) wenigstens aufweisend eine abhängig von der Druckgröße auslenkbare erste Membran (20) und dazu beabstandet eine abhängig von der Druckgröße auslenkbare zweite Membran (22), eine abhängig von der Auslenkung der ersten Membran (20) veränderbare erste Kapazität (24) mit einer ersten Gegenelektrode (26) und einer mit der ersten Membran (20) gekoppelten und gegenüber der ersten Gegenelektrode (26) unter Veränderung der ersten Kapazität (24) bewegbaren ersten Messelektrode (28) und eine abhängig von der Auslenkung der zweiten Membran (22) veränderbare zweite Kapazität (30) mit einer gegenüber der ersten Gegenelektrode (26) beabstandeten zweiten Gegenelektrode (32) und einer mit der zweiten Membran (22) gekoppelten und gegenüber der zweiten Gegenelektrode (32) unter Veränderung der zweiten Kapazität (30) bewegbaren zweiten Messelektrode (34), wobei die wenigstens eine Sensierstruktur (18) in wenigstens einer Aussparung (46) des Schichtaufbaus (16) aufgenommen und über wenigstens einen Anbindungsbereich (48) freitragend an den Schichtaufbau (16) angebunden ist.[English] The invention relates to a capacitive pressure sensor (10) for measuring a pressure variable, comprising a layer structure (16) formed from a plurality of layers (14) stacked along a normal direction (12), and comprising at least one sensing structure (18) at least comprising a first membrane (20) that can be deflected depending on the pressure variable and, spaced apart therefrom, a second membrane (22) that can be deflected depending on the pressure variable, a first capacitor (24), the capacitance of which can be changed depending on the deflection of the first membrane (20) and which has a first counterelectrode (26) and a first measurement electrode (28), which is coupled to the first membrane (20) and is movable relative to the first counterelectrode (26) in a manner that brings about a change in the capacitance of the first capacitor (24), and a second capacitor (30), the capacitance of which can be changed depending on the deflection of the second membrane (22) and which has a second counterelectrode (32), spaced apart from the first counterelectrode (26), and a second measurement electrode (34), which is coupled to the second membrane (22) and is movable relative to the second counterelectrode (32) in a manner that brings about a change in the capacitance of the second capacitor (30), wherein the at least one sensing structure (18) is accommodated in at least one cutout (46) of the layer structure (16) and is self-supportingly linked to the layer structure (16) via at least one linking region (48).[French] L'invention concerne un capteur de pression capacitif (10) pour mesurer une variable de pression, comprenant une structure en couches (16) formée d'une pluralité de couches (14) empilées le long d'une direction normale (12) et comprenant au moins une structure de détection (18) comprenant au moins une première membrane (20) déformable en fonction de la variable de pression et espacée de celle-ci, une deuxième membrane (22) déformable en fonction de la variable de pression, un premier condensateur (24) dont la capacité peut être modifiée en fonction de la déformation de la première membrane (20) et qui présente une première contre-électrode (26) et une première électrode de mesure (28) accouplée à la première membrane (20) et mobile par rapport à la première contre-électrode (26) de manière à provoquer un changement de capacité du premier condensateur (24), et un second condensateur (30) dont la capacité peut être modifiée en fonction de la déformation de la seconde membrane (22) et qui présente une seconde contre-électrode (32), espacée de la première contre-électrode (26), et une seconde électrode de mesure (34), qui est accouplée à la seconde membrane (22) et qui est mobile par rapport à la seconde contre-électrode (32) de manière à provoquer un changement de la capacité du second condensateur (30), ladite structure de détection (18) étant logée dans au moins une découpe (46) de la structure en couches (16) et étant liée de manière autoportante à la structure en couches (16) par l'intermédiaire d'au moins une région de liaison (48).

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Small Entity	*
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Micro Entity, USA	*
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Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
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WO2026057304 - KAPAZITIVER DRUCKSENSOR MIT EINER FREITRAGENDEN SENSIERSTRUKTUR

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