WO2026032645 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PIEZOELEKTRISCH AKTUIERBAREN MEMBRAN, PIEZOELEKTRISCH AKTUIERBARE MEMBRAN SOWIE VERWENDUNG DER PIEZOELEKTRISCH AKTUIERBAREN MEMBRAN
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/032645
Publication Date
12.02.2026
International Application No.
PCT/EP2025/070482
International Filing Date
17.07.2025
Title **
[German]
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PIEZOELEKTRISCH AKTUIERBAREN MEMBRAN, PIEZOELEKTRISCH AKTUIERBARE MEMBRAN SOWIE VERWENDUNG DER PIEZOELEKTRISCH AKTUIERBAREN MEMBRAN
[English]
METHOD FOR PRODUCING A PIEZOELECTRICALLY ACTUATABLE MEMBRANE, PIEZOELECTRICALLY ACTUATABLE MEMBRANE, AND USE OF THE PIEZOELECTRICALLY ACTUATABLE MEMBRANE
[French]
PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE MEMBRANE ACTIONNABLE PIÉZOÉLECTRIQUEMENT, MEMBRANE ACTIONNABLE PIÉZOÉLECTRIQUEMENT ET UTILISATION DE LA MEMBRANE ACTIONNABLE PIÉZOÉLECTRIQUEMENT
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
PANTEL, Daniel
BECKER, Dennis
SCHARF, Robert
Priority Data
102024207510.8
07.08.2024
DE
Application details
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International Searching Authority |
EPO
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Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
Send the Letters Patent by Courier
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1994 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8133 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2147 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1981 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,995
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Abstract[German]
Die vorliegende Offenlegung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer piezoelektrisch aktuierbaren Membran (1) umfassend die Schritte a) Bereitstellung eines Substrats (2), c) Aufbringung einer ersten Elektrodenschicht (20), d) Aufbringung eines piezoelektrischen Schichtstapels (22), e) Aufbringung einer zweiten Elektrodenschicht (24), wobei die Aufbringung des piezoelektrischen Schichtstapels (22) in Schritt d) umfasst d-1) Aufbringung einer Keimschicht (28), d-2) Aufbringung einer Deckschicht (44), d-3) thermische Ausheilung oder d-I) Aufbringung einer dielektrischen Schicht (30), d-II) Aufbringung einer piezoelektrischen Schicht (26) mit abnehmbarer Schichtdicke (38). Die Offenlegung betrifft weiterhin eine piezoelektrisch aktuierbare Membran (1). Die Offenlegung betrifft ferner die Verwendung der piezoelektrisch aktuierbaren Membran (1) in einer Vorrichtung mit Frontvolume und Backvolume.[English]
The present disclosure relates to a method for producing a piezoelectrically actuatable membrane (1), comprising the steps of a) providing a substrate (2), c) applying a first electrode layer (20), d) applying a piezoelectric layer stack (22), e) applying a second electrode layer (24), wherein applying the piezoelectric layer stack (22) in step d) comprises d-1) applying a seed layer (28), d-2) applying a cover layer (44), d-3) thermal annealing or d-I) applying a dielectric layer (30), d-II) applying a piezoelectric layer (26) having decreasable layer thickness (38). The disclosure additionally relates to a piezoelectrically actuatable membrane (1). The disclosure furthermore relates to the use of the piezoelectrically actuatable membrane (1) in a device having a front volume and a back volume.[French]
La présente invention concerne un procédé de production d'une membrane actionnable piézoélectriquement (1), comprenant les étapes consistant à : a) fournir un substrat (2), c) appliquer une première couche d'électrode (20), d) appliquer un empilement de couches piézoélectriques (22), e) appliquer une seconde couche d'électrode (24), l'application de l'empilement de couches piézoélectriques (22) à l'étape d) comprenant : d -1) l'application d'une couche d'ensemencement (28), d -2) l'application d'une couche de recouvrement (44), d -3) le recuit thermique ou d-I) l'application d'une couche diélectrique (30), d-II) l'application d'une couche piézoélectrique (26) ayant une épaisseur de couche qui peut diminuer (38). L'invention concerne en outre une membrane actionnable piézoélectriquement (1). L'invention concerne en outre l'utilisation de la membrane actionnable piézoélectriquement (1) dans un dispositif ayant un volume avant et un volume arrière.