IP-Coster | WO2026017509 | MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG, MIKROELEKTROMECHANISCHER LAUTSPRECHER, MIKROELEKTROMECHANISCHE FLUIDPUMPEINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER MIKROELEKTROMECHANISCHEN VORRICHTUNG

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	2927
EPO	Filing, Examination, Granting	18417
Japan	Filing, Examination, Granting	2703
South Korea	Filing, Examination, Granting	3100
USA	Filing, Examination, Granting	7140

Abstract[German] Die Erfindung betrifft eine mikroelektromechanische Vorrichtung (1) zur Erzeugung druckbeaufschlagter Fluidpulse (F) mit einem Substrat (7) und einer Schwingungserzeugereinheit (2), die Schwingungserzeugereinheit (2) aufweisend eine auf einer Vorderseite (7a) des Substrats (7) angeordnete Funktionseinheit (13), die eine Ventilfunktion zur temporären Ausbildung einer Fluidöffnung (14) und eine Verdrängerfunktion zur Verdrängung von Fluid aufweist, und einen sich ausgehend von der Funktionseinheit (13) durch das Substrat (7) zu einer Rückseite (7b) des Substrats (7) erstreckenden Durchgangskanal (5), wobei die Schwingungserzeugereinheit (2) dazu eingerichtet ist, eine Druckschwingung mit einer vorgegebenen Schwingungsfrequenz in dem Durchgangskanal (5) zu erzeugen und einen von dem Durchgangskanal (5) in Richtung der Funktionseinheit (13) reflektierten Schwingungsdruckpuls (15a) durch die temporär ausgebildete Fluidöffnung (14) der Funktionseinheit (13) dem Durchgangskanal (5) als druckbeaufschlagten Fluidpuls (F) zu entnehmen. Die Erfindung betrifft des Weiteren einen mikroelektromechanischen Lautsprecher, eine mikroelektromechanische Fluidpumpeinrichtung und ein Verfahren zum Betrieb einer mikroelektromechanischen Vorrichtung (1).[English] The invention relates to a microelectromechanical device (1) for generating pressurised fluid pulses (F), comprising a substrate (7) and a vibration-generating unit (2), the vibration-generating unit (2) having a functional unit (13) arranged on a front side (7a) of the substrate (7), which functional unit has a valve function for temporarily forming a fluid opening (14) and a displacement function for displacing fluid, and a through-channel (5) extending from the functional unit (13) through the substrate (7) to a rear side (7b) of the substrate (7), wherein the vibration-generating unit (2) is designed to generate, in the through-channel (5), a pressure oscillation at a predetermined oscillation frequency, and to extract, from the through-channel (5) and via the temporarily formed fluid opening (14) of the functional unit (13), an oscillatory pressure pulse (15a), which is reflected from the through-channel (5) in the direction of the functional unit (13), as a pressurised fluid pulse (F). The invention also relates to a microelectromechanical loudspeaker, a microelectromechanical fluid pumping device, and a method for operating a microelectromechanical device (1).[French] L'invention concerne un dispositif micro-électromécanique (1) pour générer des impulsions de fluide sous pression (F), comprenant un substrat (7) et une unité de génération de vibrations (2), l'unité de génération de vibrations (2) présentant une unité fonctionnelle (13) disposée sur un côté avant (7a) du substrat (7), ladite unité fonctionnelle ayant une fonction de soupape pour former temporairement une ouverture de fluide (14) et une fonction de déplacement pour déplacer un fluide, et un canal traversant (5) s'étendant à partir de l'unité fonctionnelle (13) à travers le substrat (7) vers un côté arrière (7b) du substrat (7), l'unité de génération de vibrations (2) étant conçue pour générer, dans le canal traversant (5), une oscillation de pression à une fréquence d'oscillation prédéterminée, et pour extraire, à partir du canal traversant (5) et par l'intermédiaire de l'ouverture de fluide formée temporairement (14) de l'unité fonctionnelle (13), une impulsion de pression oscillatoire (15a), qui est réfléchie par le canal traversant (5) dans la direction de l'unité fonctionnelle (13), en tant qu'impulsion de fluide sous pression (F). L'invention concerne également un haut-parleur microélectromécanique, un dispositif de pompage de fluide microélectromécanique et un procédé de fonctionnement d'un dispositif microélectromécanique (1).

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International Searching Authority	EPO *
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Type of Assignment	The Standard Agent's Assignment *
Applicant's Legal Status	Legal Entity *
Small Entity	*
Non-Commercial Organization	*
Micro Entity	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
Entry into National Phase under	Chapter I *
Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
Translation

WO2026017509 - MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG, MIKROELEKTROMECHANISCHER LAUTSPRECHER, MIKROELEKTROMECHANISCHE FLUIDPUMPEINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER MIKROELEKTROMECHANISCHEN VORRICHTUNG

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