WO2026012640 - MIKROSENSOR, VERFAHREN ZUR MESSUNG UND VERFAHREN ZUR SENSORZUSTANDSÜBERWACHUNG
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2026/012640
Publication Date
15.01.2026
International Application No.
PCT/EP2025/063968
International Filing Date
21.05.2025
Title **
[German]
MIKROSENSOR, VERFAHREN ZUR MESSUNG UND VERFAHREN ZUR SENSORZUSTANDSÜBERWACHUNG
[English]
MICROSENSOR, METHOD FOR MEASUREMENT, AND METHOD FOR SENSOR STATE MONITORING
[French]
MICROCAPTEUR, PROCÉDÉ DE MESURE ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE D'ÉTAT DE CAPTEUR
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
DANNENBERG, Arne
MAIER, Bernhard
KREUTZER, Joachim
Priority Data
102024206538.2
11.07.2024
DE
Application details
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EPO
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Change of Applicant's Name and Address
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The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 1879 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8159 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2015 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1743 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
18,536
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Abstract[German]
Die Erfindung betrifft einen Mikrosensor (10) zur Messung einer physikalischen Messgröße (14), aufweisend ein die Messgröße (14) in einem ersten Messbereich (54) mit einer ersten Messcharakteristik (C1) und in einem durch mechanische Begrenzung den ersten Messbereich (54) ablösenden und dazu versetzten zweiten Messbereich (56) mit einer zweiten Messcharakteristik (C2) messbares erstes Messelement (16) mit einem abhängig von der Messgröße (14) auslenkbaren mikromechanischen ersten Auslenkungselement (18), ein die Messgröße (14) in einem dritten Messbereich (52) mit einer dritten Messcharakteristik (C3) messbares zweites Messelement (28), wobei der dritte Messbereich (52) einen Übergang (53) zwischen dem ersten und zweiten Messbereich (54, 56) überlappt und mit dem ersten Messbereich (54) einen ersten Überlappungsbereich (58) und mit dem zweiten Messbereich (56) einen zweiten Überlappungsbereich (60) bildet, wobei die zumindest bei dem Übergang (53) vorhandene Messgröße (14) durch Messung des zweiten Messelements (28) anhand der dritten Messcharakteristik (C3) messbar ist. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Messung und ein Verfahren zur Sensorzustandsüberwachung.[English]
The invention relates to a microsensor (10) for measuring a physical measurement variable (14), comprising: a first measurement element (16) which can measure the measurement variable (14) in a first measurement region (54) with a first measurement characteristic (C1) and in a second measurement region (56) with a second measurement characteristic (C2), said second measurement region supplanting the first measurement region (54) by mechanical delimitation and being offset therefrom, and the first measurement element having a micromechanical first deflection element (18) which can be deflected according to the measurement variable (14); a second measurement element (28) which can measure the measurement variable (14) in a third measurement region (52) with a third measurement characteristic (C3), wherein the third measurement region (52) overlaps a transition (53) between the first and second measurement regions (54, 56) and forms a first overlap region (58) with the first measurement region (54) and a second overlap region (60) with the second measurement region (56), and wherein the measurement variable (14), which is present at least at the transition (53), can be measured by measurement of the second measurement element (28) on the basis of the third measurement characteristic (C3). The invention also relates to a method for measurement and to a method for sensor state monitoring.[French]
L'invention concerne un microcapteur (10) de mesure d'une grandeur physique de mesure (14), comprenant : un premier élément de mesure (16) apte à mesurer la grandeur de mesure (14) dans une première zone de mesure (54) avec une première caractéristique de mesure (C1) et dans une deuxième zone de mesure (56) avec une deuxième caractéristique de mesure (C2), ladite deuxième zone de mesure supplantant la première zone de mesure (54) par délimitation mécanique et étant décalée de celle-ci, et le premier élément de mesure comportant un premier élément de déviation micromécanique (18) apte à être dévié en fonction de la grandeur de mesure (14) ; un deuxième élément de mesure (28) qui peut mesurer la variable de mesure (14) dans une troisième région de mesure (52) avec une troisième caractéristique de mesure (C3), la troisième région de mesure (52) chevauchant une transition (53) entre les première et deuxième régions de mesure (54, 56) et formant une première région de chevauchement (58) avec la première région de mesure (54) et une seconde région de chevauchement (60) avec la deuxième région de mesure (56), et la variable de mesure (14), qui est présente au moins au niveau de la transition (53), pouvant être mesurée par mesure du deuxième élément de mesure (28) sur la base de la troisième caractéristique de mesure (C3). L'invention concerne également un procédé de mesure et un procédé de surveillance d'état de capteur.