WO2025214845 - MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG MIT EINER VERDRÄNGERSTRUKTUR
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/214845
Publication Date
16.10.2025
International Application No.
PCT/EP2025/058992
International Filing Date
02.04.2025
Title **
[German]
MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG MIT EINER VERDRÄNGERSTRUKTUR
[English]
MICROELECTROMECHANICAL DEVICE COMPRISING A DISPLACEMENT STRUCTURE
[French]
DISPOSITIF MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE COMPRENANT UNE STRUCTURE DE DÉPLACEMENT
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
SCHINDELE, Jens
SORGER, Alexander
SOMMER, Maximilian
MELNIKOV, Anton
Priority Data
102024203211.5
09.04.2024
DE
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
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EPO
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2017 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8189 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2140 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 1989 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
19,075
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Abstract[German]
Mikroelektromechanische Vorrichtung (10) mit einer Verdrängerstruktur (1) mit einer beweglichen Lamelle (2), wobei wenigstens eine Steuerelektrode (13, 14, 15, 16) vorgesehen ist, die zur Beeinflussung einer Bewegung der Verdrängerstruktur (1) mit einem elektrischen Potential beaufschlagbar ist, wobei die Verdrängerstruktur (1) ausgebildet ist, um in eine Haftposition nahe an die Steuerelektrode (13, 14, 15, 16) gezogen zu werden, wobei eine bewegliche Sicherheitsstruktur (31) vorgesehen ist, wobei wenigstens eine Sicherheitselektrode (37, 38, 46, 47) vorgesehen ist, die zur Beeinflussung einer Bewegung der Sicherheitsstruktur (31) mit einem elektrischen Potential beaufschlagbar ist, wobei die Sicherheitsstruktur (31) ausgebildet ist, um in eine Haftposition an die Sicherheitselektrode (37, 38, 46, 47) gezogen zu werden, wobei die Sicherheitsstruktur (31) und/oder die Sicherheitselektrode (37, 38, 46, 47) in der Weise ausgebildet sind, dass die Sicherheitsstruktur (31) vor der Verdrängerstruktur (1) in die Haftposition gezogen wird.[English]
The invention relates to a microelectromechanical device (10) comprising a displacement structure (1) with a movable lamella (2), wherein at least one control electrode (13, 14, 15, 16) is provided to which an electric potential can be applied in order to influence a movement of the displacement structure (1); the displacement structure (1) is designed to be pulled into an adhesion position close to the control electrode (13, 14, 15, 16); a movable safety structure (31) is provided; at least one safety electrode (37, 38, 46, 47) is provided to which an electric potential can be applied in order to influence a movement of the safety structure (31); the safety structure (31) is designed to be pulled into an adhesion position on the safety electrode (37, 38, 46, 47); and the safety structure (31) and/or the safety electrode (37, 38, 46, 47) is designed such that the safety structure (31) is pulled into the adhesion position before the displacement structure (1).[French]
L'invention concerne un dispositif micro-électromécanique (10) comportant une structure de déplacement (1) comportant une lamelle (2) mobile, au moins une électrode de commande (13,14,15, 16) étant prévue, cette électrode pouvant être soumise à un potentiel électrique afin d'influer sur un mouvement de la structure de déplacement (1), la structure de déplacement (1) étant conçue pour être attirée dans une position de maintien à proximité de l'électrode de commande (13,14,15, 16), une structure de sécurité (31) mobile étant prévue, au moins une électrode de sécurité (37,38,46, 47) étant prévue, cette électrode pouvant être soumise à un potentiel électrique afin d'influer sur un mouvement de la structure de sécurité (31), la structure de sécurité (31) étant conçue pour être attirée dans une position de maintien au niveau de l'électrode de sécurité (37,38,46, 47), la structure de sécurité (31) et/ou l'électrode de sécurité (37,38,46, 47) étant conçues de sorte que la structure de sécurité (31) soit attirée dans la position de maintient avant la structure de déplacement (1).