IP-Coster | WO2025131878 | MIKROELEKTROMECHANISCHER SENSOR MIT VERSTEIFUNGSMITTEL ZWISCHEN ELEKTRODENFLÄCHE UND AUSLENKUNGSELEMENT

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	1879
EPO	Filing, Examination, Granting	8149
Japan	Filing, Examination, Granting	2014
South Korea	Filing, Examination, Granting	1741
USA	Filing, Examination, Granting	4740

Abstract[German] Die Erfindung betrifft einen mikroelektromechanischen Sensor (10) zur Messung einer Umgebungsgröße (12) einer Sensorumgebung (16), aufweisend wenigstens ein abhängig von der Umgebungsgröße (12) in eine Vertikalrichtung (18) auslenkbares Auslenkungselement (20), wenigstens eine Gegenelektrode (32), wenigstens eine mit dem Auslenkungselement (20) gekoppelte und abhängig von der Auslenkung des Auslenkungselements (20) unter Veränderung eines Elektrodenabstands (38) gegenüber der Gegenelektrode (32) bewegbare und der Gegenelektrode (32) zugewandte Elektrodenfläche (34), wobei zwischen der Elektrodenfläche (34) und dem Auslenkungselement (20) Versteifungsmittel (44) angeordnet sind, die sich in eine zu der Vertikalrichtung (18) senkrechte erste Richtung (48) abwechselnd mit wenigstens einem freigestellten ersten Zwischenraum (50) zwischen dem Auslenkungselement (20) und der Elektrodenfläche (34) und in eine zu der Vertikalrichtung (18) und der ersten Richtung (48) senkrechte zweite Richtung (52) abwechselnd mit wenigstens einem freigestellten zweiten Zwischenraum (54) zwischen dem Auslenkungselement (20) und der Elektrodenfläche (34) erstrecken und die die Elektrodenfläche (34) und das Auslenkungselement (20) in Vertikalrichtung (18) beabstandet miteinander verbinden.[English] The invention relates to a micro-electromechanical sensor (10) for measuring a surroundings variable (12) of the sensor surroundings (16), having at least one deflecting element (20) which can be deflected in the vertical direction (18) on the basis of the surroundings variable (12), at least one counter electrode (32), and at least one electrode surface (34) which is coupled to the deflecting element (20) and can move on the basis of the deflection of the deflecting element (20), thereby adjusting the electrode spacing (38) relative to the counter electrode (32), and which faces the counter electrode (32), wherein between the electrode surface (34) and the deflecting element (20) are reinforcing means (44) that extend in a first direction (48), which is perpendicular to the vertical direction (18), so as to alternate with at least one first exposed intermediate space (50) between the deflecting element (20) and the electrode surface (34) and in a second direction (52), which is perpendicular to the vertical direction (18) and the first direction (48), so as to alternate with at least one second exposed intermediate space (54) between the deflecting element (20) and the electrode surface (34) and connect the electrode surface (34) and the deflecting element (20) in spaced relation to each other in the vertical direction (18).[French] L'invention concerne un capteur micro-électromécanique (10) pour mesurer une variable d'environnement (12) de l'environnement de capteur (16), comprenant au moins un élément de déviation (20) qui peut être dévié dans la direction verticale (18) en fonction de la variable d'environnement (12), au moins une contre-électrode (32), et au moins une surface d'électrode (34) couplée à l'élément de déviation (20) et pouvant se déplacer selon la déviation de l'élément de déviation (20), ce qui règle l'espacement de l'électrode (38) par rapport à la contre-électrode (32), et qui fait face à la contre-électrode (32). Entre la surface d'électrode (34) et l'élément de déviation (20) s'étendent des moyens de renforcement (44) dans une première direction (48), perpendiculaire à la direction verticale (18), de sorte à alterner avec au moins un premier espace intermédiaire exposé (50) entre l'élément de déviation (20) et la surface d'électrode (34), et dans une deuxième direction (52), perpendiculaire à la direction verticale (18) et à la première direction (48), de sorte à alterner avec au moins un deuxième espace intermédiaire exposé (54) entre l'élément de déviation (20) et la surface d'électrode (34), et à connecter la surface d'électrode (34) et l'élément de déviation (20) dans une relation espacée l'un par rapport à l'autre dans la direction verticale (18).

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Applicant's Legal Status	Legal Entity *
Small Entity	*
Non-Commercial Organization	*
Micro Entity	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
Entry into National Phase under	Chapter I *
Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
Translation

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