WO2025073521 - MIKROMECHANISCHER SCHALTER

National phase entry is expected:
Publication Number WO/2025/073521
Publication Date 10.04.2025
International Application No. PCT/EP2024/076611
International Filing Date 23.09.2024
Title **
[German] MIKROMECHANISCHER SCHALTER
[English] MICROMECHANICAL SWITCH
[French] COMMUTATEUR MICROMÉCANIQUE
Applicants **
ROBERT BOSCH GMBH
Inventors
LEWIS, Matthew
REINMUTH, Jochen
Priority Data
102023209781.8   06.10.2023   DE
Application details
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Patent Delivery
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Translation

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Quotation for National Phase entry

Country StagesTotal
China Filing, Examination, Granting1883
EPO Filing, Examination, Granting8266
Japan Filing, Examination, Granting2042
South Korea Filing, Examination, Granting1730
USA Filing, Examination, Granting4740
MasterCard Visa
Total: 18,661

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Abstract[German] Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Schalter mit einem Substrat (10) mit einer Haupterstreckungsebene (x, y), mit einem ersten elektrischen Kontakt (11) und einem zweiten elektrischen Kontakt (12), mit einem ersten auslenkbaren mikromechanischen Schaltteil (30) mit einer ersten Kontaktbrücke (31) zum Schalten einer ersten elektrischen Leitung (15), wobei mittels der ersten Kontaktbrücke der erste Kontakt mit dem zweiten Kontakt elektrisch kontaktierbar ist, mit einem dritten elektrischen Kontakt (21) und einem vierten elektrischen Kontakt (22), mit einem zweiten auslenkbaren mikromechanischen Schaltteil (40) mit einer zweiten Kontaktbrücke (41) zum Schalten einer zweiten elektrischen Leitung (25), wobei mittels der zweiten Kontaktbrücke der dritte Kontakt mit dem vierten Kontakt elektrisch kontaktierbar ist, wobei der erste, zweite, dritte und vierte elektrische Kontakt auf dem Substrat angeordnet sind, wobei das erste Schaltteil (30) und das zweite Schaltteil (40) in einer mikromechanischen Funktionsschicht (100) über dem Substrat ausgebildet und in einer Richtung senkrecht zur Haupterstreckungsebene (x, y) des Substrats auslenkbar sind.[English] The invention relates to a micromechanical switch having a substrate (10) having a main extension plane (x, y), having a first electrical contact (11) and a second electrical contact (12), having a first deflectable micromechanical switching part (30) having a first contact bridge (31) for switching a first electrical line (15), wherein the first contact bridge can be used to electrically contact-connect the first contact to the second contact, having a third electrical contact (21) and a fourth electrical contact (22), having a second deflectable micromechanical switching part (40) having a second contact bridge (41) for switching a second electrical line (25), wherein the second contact bridge can be used to electrically contact-connect the third contact to the fourth contact, wherein the first, second, third and fourth electrical contacts are arranged on the substrate, wherein the first switching part (30) and the second switching part (40) are formed in a micromechanical functional layer (100) above the substrate and are deflectable in a direction perpendicular to the main extension plane (x, y) of the substrate.[French] L'invention concerne un commutateur micromécanique ayant un substrat (10) ayant un plan d'extension principal (x, y), ayant un premier contact électrique (11) et un deuxième contact électrique (12), ayant une première partie de commutation micromécanique déformable (30) ayant un premier pont de contact (31) pour commuter une première ligne électrique (15), dans lequel le premier pont de contact peut être utilisé pour connecter électriquement par contact le premier contact au deuxième contact, ayant un troisième contact électrique (21) et un quatrième contact électrique (22), ayant une deuxième partie de commutation micromécanique déformable (40) ayant un deuxième pont de contact (41) pour commuter une deuxième ligne électrique (25), dans lequel le deuxième pont de contact peut être utilisé pour connecter électriquement par contact le troisième contact au quatrième contact, dans lequel les premier, deuxième, troisième et quatrième contacts électriques sont disposés sur le substrat, dans lequel la première partie de commutation (30) et la deuxième partie de commutation (40) sont formées dans une couche fonctionnelle micromécanique (100) au-dessus du substrat et peuvent être déviées dans une direction perpendiculaire au plan d'extension principal (x, y) du substrat.

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